【半導体成膜向け】ソニア社製超音波スプレーノズル
無加圧で微粒子を噴霧！成膜工程の品質とコストを改善！
半導体製造における成膜工程では、均一な膜厚と高品質な成膜が求められます。特に、微細な構造を持つ半導体デバイスにおいては、塗布液の粒子径や塗布の均一性が、製品の性能を大きく左右します。従来の塗布方法では、液体の飛散や無駄が多く、歩留まりの低下やコスト増につながる可能性があります。ソニア社製超音波スプレーノズルは、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ウェーハへの薬液塗布 ・薄膜形成 ・フォトレジスト塗布 【導入の効果】 ・微細な粒子径による均一な成膜 ・薬液の無駄を削減し、コストを低減 ・塗布ムラの抑制による歩留まり向上
基本情報
【特長】 ・ミクロンレベルの液滴を小部品に集中噴霧（精密アトマイザーノズル） ・狭い範囲に高精度で噴霧。薄膜形成に最適（ナロースプレーノズル） ・広範囲への均一な噴霧が可能（ワイドスプレーノズル） ・最大600℃までの環境で使用可能（高温対応ノズル） ・管の内壁などへの塗布に最適（ラジアルスプレーノズル） 【当社の強み】 ティックコーポレーションは、お客様のニーズに合わせた最適な製品選定と、技術的なサポートを提供します。長年の経験と豊富な製品知識を活かし、お客様の課題解決に貢献します。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
Sonozap
用途／実績例
超音波スプレーノズルは、精密なスプレーコーティングを必要とする多様な産業用途に対応しています。 ノズルは自動化されたスプレー装置に組み込まれ、微細で均一な膜を形成することが可能です。 特に、オーバースプレー（無駄な飛散）が少なく、粒子サイズの分布が非常に狭いのが特徴です。 主な用途分野 医療・バイオ関連 • 医療用ステントのコーティング • バルーンカテーテルのコーティング • 採血管の内面処理 • 診断機器へのタンパク質・酵素・試薬の塗布 • 医薬品のスプレー乾燥 • ハイドロゲルのスプレー塗布 • スプレー凍結乾燥 クリーン・滅菌用途 • 室内の消毒・滅菌 • 基板へのコーティング • 高温環境でのスプレー処理 エネルギー・電子材料 • 太陽電池のコーティング • 燃料電池部材の塗布 • グラフェンやカーボンナノチューブのスプレー • フォトレジストの塗布 • エアロゾル支援CVD（化学蒸着） 精密加工・材料開発 • 微細エッチングガラス • マイクロビーズの製造 • マイクロカプセル化 • バイオプリンティング
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取り扱い会社
ティックコーポレーションは、生産効率の改善・経費効率の向上・品質の向上・環境保全への配慮など企業が直面する諸問題の解決に寄与する製品を提供することをモットーに広く世界から製品情報を収集し、市場のニーズに応える製品を提供してまいりました。 今後も合理化に寄与する製品や近年特に厳しくなっている環境保全に寄与する製品を開発し、お届けできるよう努力してゆく所存です。 ◇◆主な取扱商品◇◆ ・精密工業用スプレーノズル ・農業用スプレーノズル ・エアーノズル / エアーナイフ ・特殊スプレーノズル ・タンク洗浄ノズル ・ブロワー ・超音波スプレーノズル（ネブライザー / アトマイザー） ・超音波洗浄装置 ・空気搬送装置 ・ベンチレーター ・プラスチックコネクター ・切断火口（ガスカッター用ノズル） ・ラテックス テスター ・自社製チュービングポンプ（ディスペンサー） ・シリンジポンプ