【半導体成膜向け】ソニア社製超音波スプレーノズル
無加圧で微粒子を噴霧！成膜工程の品質と効率を向上！
半導体製造における成膜工程では、均一な膜厚と高品質な成膜が求められます。特に、微細なパターン形成においては、塗布液の粒子径や塗布精度が製品の性能を大きく左右します。塗布ムラや異物の混入は、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。ソニア社製超音波スプレーノズルは、ピエゾセラミックの振動により微粒子を生成し、均一な塗布を実現します。加圧不要で、飛散や液体の跳ね返りを抑制し、塗布液の無駄を削減します。設備投資とランニングコストの削減にも貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハへの薬液塗布 ・薄膜形成 ・フォトレジスト塗布 【導入の効果】 ・均一な膜厚の実現 ・塗布液の無駄を削減 ・歩留まり向上 ・設備投資とランニングコストの削減
基本情報
【特長】 ・ミクロンレベルの液滴を小部品に集中噴霧（精密アトマイザーノズル） ・狭い範囲に高精度で噴霧。薄膜形成に最適（ナロースプレーノズル） ・広範囲への均一な噴霧が可能（ワイドスプレーノズル） ・奥まった箇所への噴霧に対応（延長付きワイドスプレーノズル） ・最大600℃までの環境で使用可能（高温対応ノズル） 【当社の強み】 ティックコーポレーションは、お客様の課題解決に貢献する製品を提供することに注力しています。超音波スプレーノズルをはじめ、様々な省エネ製品を取り扱っており、お客様の生産性向上をサポートします。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
Sonozap
用途／実績例
超音波スプレーノズルは、精密なスプレーコーティングを必要とする多様な産業用途に対応しています。 ノズルは自動化されたスプレー装置に組み込まれ、微細で均一な膜を形成することが可能です。 特に、オーバースプレー（無駄な飛散）が少なく、粒子サイズの分布が非常に狭いのが特徴です。 主な用途分野 医療・バイオ関連 • 医療用ステントのコーティング • バルーンカテーテルのコーティング • 採血管の内面処理 • 診断機器へのタンパク質・酵素・試薬の塗布 • 医薬品のスプレー乾燥 • ハイドロゲルのスプレー塗布 • スプレー凍結乾燥 クリーン・滅菌用途 • 室内の消毒・滅菌 • 基板へのコーティング • 高温環境でのスプレー処理 エネルギー・電子材料 • 太陽電池のコーティング • 燃料電池部材の塗布 • グラフェンやカーボンナノチューブのスプレー • フォトレジストの塗布 • エアロゾル支援CVD（化学蒸着） 精密加工・材料開発 • 微細エッチングガラス • マイクロビーズの製造 • マイクロカプセル化 • バイオプリンティング
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取り扱い会社
ティックコーポレーションは、生産効率の改善・経費効率の向上・品質の向上・環境保全への配慮など企業が直面する諸問題の解決に寄与する製品を提供することをモットーに広く世界から製品情報を収集し、市場のニーズに応える製品を提供してまいりました。 今後も合理化に寄与する製品や近年特に厳しくなっている環境保全に寄与する製品を開発し、お届けできるよう努力してゆく所存です。 ◇◆主な取扱商品◇◆ ・精密工業用スプレーノズル ・農業用スプレーノズル ・エアーノズル / エアーナイフ ・特殊スプレーノズル ・タンク洗浄ノズル ・ブロワー ・超音波スプレーノズル（ネブライザー / アトマイザー） ・超音波洗浄装置 ・空気搬送装置 ・ベンチレーター ・プラスチックコネクター ・切断火口（ガスカッター用ノズル） ・ラテックス テスター ・自社製チュービングポンプ（ディスペンサー） ・シリンジポンプ