極高真空計『3B-Gauge』
X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計
『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、 ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が 可能な新しいタイプの測定子です。 電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。 【特長】 ■3つの測定限界を総合的に改善 ■10-12Pa台までの圧力測定が可能 ■低ガス放出化が図られている ■フランジ材料：0.2%BeCu 合金（外観 NiPメッキ） ■電流導入端子：SUS304、Kovar真空端子 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様】 ■電子エネルギー：120eV ■フィラメント電位：100V ■フィラメント加熱電流/電圧＝1.5A/3.0V ■E-Beam脱ガス電力＝480V×10～30mA ■電子電流＝1～4mA（10mA可能） ■偏向電極電位＝155V（デフレクター） ■X線限界＝約5×10-12Pa ■ベーキング温度：最大280℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
関連動画
カタログ（2）
カタログをまとめてダウンロード
取り扱い会社
私たち東京電子株式会社は、エレクトロニクスと精密機器の技術によって、精度と信頼性・耐久性を誇るさまざまな分野にわたる真空計、制御機器を開発してきました。 「真空」という命題は、IT産業をはじめエレクトロニクス、食品や医療に関わる分野、新素材の開発や生活必需品の製造にいたるまで、私たちの生活と産業のベースとなる技術です。そのために、多彩なフィールドにおける数々のクライアントの皆さまからの要求に、的確かつフレキシブルにお応えすることこそが、私たちのビジネス。 現代の、明日の、そして未来への産業と人々のより良い生活のために、「真空」という私たちの技術と製品が、青く澄んだ空のように、人々の幸せの上に広がる「真の空」となることを願いながら、私たちは今日も活動を続けています。
