極高真空(XHV)製品
極高真空(XHV)製品
東京電子で取り扱う、極高真空(XHV)製品のご案内です。 10-12Pa台までの圧力測定が可能な新しいタイプの測定子「3B-Gauge」などをご用意しております。
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超高感度 質量分析装置 WATMASS－MPH DAシステム
【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの封止デバイス内の超微量リーク検査に！
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極高真空計『3B-Gauge』
X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計
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超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減！一般的な四重極残留ガス分析計での計測が難しいXHVガス分析が可能！
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極高真空(XHV)製品『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』
0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現
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真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減！新しい「真空構造材」
0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現！ステンレススチールの代替えに。
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多様な質量分析を可能にする東京電子のラインナップ
極微量ガス分析から大気圧サンプリングまで、単体での計測からシステムアップした分析装置として、高性能なモデルをそろえた質量分析計！
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質量分析で過度の水素ピークが出てしまいお困りではありませんか？
答えはこちら！質量分析のソリューションと事例をご紹介！
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真空チャンバーの内壁からのガス 放出でお困りではありませんか？
答えはこちら！真空チャンバーのガス放出に対するソリューションと事例をご紹介！
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極微小リークの計測方法でお困りで はありませんか？
答えはこちら！極微小リーク検査のソリューションと事例をご紹介！
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