四重極型質量分析計『Transpector MPS&MPH』
業界最高クラスのデータ収集速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現！
『Transpector MPS&MPH』は、どちらも業界最高クラスのデータ収集 速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現しています。 残留ガス分析計（質量分析計） (RGA) の技術分野で世界をリードするインフィコン社が、 お客様の真空アプリケーションに適したスタンダード型および、 ハイパフォーマンス型 RGA を提供します。 【特長】 ■超高速データ収集 ■TCP/IP イーサネット接続 ■デュアルフィラメント ■アノード、カソード、リペラーを統合したフィラメントキット ■互換性を備えたセンサとエレクトロ二クス・ユニット（マッチング不要） ■設置スペースの最小化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様】 ■質量範囲： 100、 200、 300amu ■検出器タイプ： FC/EM ■イオン化エネルギー： 70eV ■フィラメント： Y203-Ir デュアルフィラメント(タングステン:オプション) ■感度： 4.5 x 10-6 A/Pa (MPH100: FC) ■最小検出分圧：2.7 x 10-13Pa (MPH100: EM) ■最小検出速度： 1.8msec（アナログスキャンまたは、選択ピークモード） ■動作温度： 200℃ (FC)、 150℃ (EM) ■ベーキング温度： 最大 300℃ センサー単体 ■通信： TCP/IP イーサネット ■ソフトウエア： FabGuard Explorer ( Windows XP、 7、 8.1、10対応) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■UHV の高精度な質量分析（ガス分析） ■表面分析（アウトガス） ■半導体デバイスの真空工程 ■微量質量分析 （微量ガス分析） ■気密性試験 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
私たち東京電子株式会社は、エレクトロニクスと精密機器の技術によって、精度と信頼性・耐久性を誇るさまざまな分野にわたる真空計、制御機器を開発してきました。 「真空」という命題は、IT産業をはじめエレクトロニクス、食品や医療に関わる分野、新素材の開発や生活必需品の製造にいたるまで、私たちの生活と産業のベースとなる技術です。そのために、多彩なフィールドにおける数々のクライアントの皆さまからの要求に、的確かつフレキシブルにお応えすることこそが、私たちのビジネス。 現代の、明日の、そして未来への産業と人々のより良い生活のために、「真空」という私たちの技術と製品が、青く澄んだ空のように、人々の幸せの上に広がる「真の空」となることを願いながら、私たちは今日も活動を続けています。
