【幅広い対応範囲】 　・様々な種類の処理剤がラインナップされており、各種プロセスの排気ガスに最も適した処理剤の選定ができます。 【低圧損】 　・圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用し、装置内の圧力損失を0.1KPa以内に制御。 　　これにより専用排気ブロワーを不要化、ランニングコストを低減いたします。 【安全性】 　・排気ガス部材質は、処理対象ガス及び反応温度を考慮した材質を使用しております。 　・排気ガス処理ラインにはフルボアタイプのバルブを使用し、装置内での閉塞が起こりにくい構造となっています。 　・処理剤破過の検知窓のほかに、装置内圧力・処理剤温度等を常時モニタリングし異常発生時に警報を発報します。（一部オプション） 　・シンプル設計で簡単操作

下記装置及びガス種に対応いたします。 ・CVD：SiH4、PH3、B2H6、SiH2Cl2、TEOS、HCl、NH3 ・ALD：TMAl、TEMAHf、TEMAZr、TiCl4、TDMATi、DEZn、O3、NH3 ・Etching：F2、HF、SiF4、Cl2、BCl3、HBr、HCl ・インプラ：AsH3、PH3、BF3　 ・チャンバークリーニング：F2、HF、SiF4、 ※上記以外のガスについてはお問い合わせください。