TruPlasma MF 7000（G2）シリーズ
重要なプロセスにおける完全なコントロール！最大限のスパッタ率が確保されます
『TruPlasma MF 7000（G2）シリーズ』のジェネレータを使用すれば、 非常に重要なプロセスでも完全にコントロールを握ることができます。 たとえば、建築用ガラスへのSiOxなど難度の高い材料のコーティング、 フラットパネルスクリーンへのAlxOyコーティング、ソーラーガラスへの TCOコーティングなどです。 当社が開発した高度なMF技術により、非常に薄く（nmレベル）、高強度で 完全に均質なレイヤにすることが可能。豊富な周波数ラインアップにより、 様々なプロセスで活用いただけます。 【主な利点】 ■高い反応速度とそれに対応する残留エネルギーの低減により、 安定したプロセスと最大限のスパッタ率が確保される ■フレキシブルな冷却コンセプト ■独自技術"イグニッションサポート"技術により、効果的なプラズマ点火 ■豊富な周波数ラインアップにより、様々なプロセスで活用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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