プラズマ電源

プラズマ電源
DC・DCパルス・HiPIMS用プラズマ電源、RFプラズマ電源、MFプラズマ電源、誘導加熱電源
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TruPlasma MF 7000(G2)シリーズ
重要なプロセスにおける完全なコントロール!最大限のスパッタ率が確保されます
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エレクトロニクス総合カタログ TruPlasmaシリーズ
幅広い用途に使われるプラズマ電源!トルンプがお客様個別の要件にお応えします
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TruPlasma Highpulse 4000(G2)シリーズ
数マイクロ秒でのフォーミング、長年にわたる耐久性!当社の電力供給装置をご紹介
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TruPlasma DC 4000(G2)シリーズ
太陽電池の製造など、重要な産業プラズマプロセスで威力を発揮する電力供給装置!
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TruPlasma Bipolar 4000(G2.1)シリーズ
波形と周波数のフレキシビリティ!圧倒的な品質と性能を誇るプラズマCVD用電源
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誘導加熱システム『TruHeatシリーズ』
パワフル、広い適合範囲、優れたプロセス信頼性!使用範囲と用途はほぼ無限!
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SEMICON Japan 2024出展のお知らせ
プラズマ励起用13.56MHHz RFジェネレーターと整合器(マッチボックス)を展示
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