プラズマ電源
プラズマ電源
トルンプのプラズマ発生用電源 TruPlasma について
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![直流電源_01_TruPlasma-DC3040_0237[1].jpg](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/2094562/IPROS7910511425509066328.jpg?w=280&h=280)
直流電源
スパッタリング、硬質コーティング、HiPIMSで活躍する直流電源
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バイポーラ電源およびMF電源
スパッタリング、プラズマCVD、各種コーティングで活躍するバイポーラ電源とMF電源
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高周波電源および整合器
エッチング、スパッタリング、CVDで活躍する高周波電源
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![マイクロ波電源_01_MW_1[1].png](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/2094562/IPROS17193055616005103983.png?w=280&h=280)
マイクロ波電源
高密度プラズマ発生で活躍するソリッドステート・マイクロ波電源
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TruPlasma MF 7000(G2)シリーズ
重要なプロセスにおける完全なコントロール!最大限のスパッタ率が確保されます
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エレクトロニクス総合カタログ TruPlasmaシリーズ
幅広い用途に使われるプラズマ電源!トルンプがお客様個別の要件にお応えします
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TruPlasma Highpulse 4000(G2)シリーズ
数マイクロ秒でのフォーミング、長年にわたる耐久性!当社の電力供給装置をご紹介
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TruPlasma DC 4000(G2)シリーズ
太陽電池の製造など、重要な産業プラズマプロセスで威力を発揮する電力供給装置!
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TruPlasma Bipolar 4000(G2.1)シリーズ
波形と周波数のフレキシビリティ!圧倒的な品質と性能を誇るプラズマCVD用電源
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SEMICON Japan 2024出展のお知らせ
プラズマ励起用13.56MHHz RFジェネレーターと整合器(マッチボックス)を展示
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誘導加熱システム『TruHeatシリーズ』
パワフル、広い適合範囲、優れたプロセス信頼性!使用範囲と用途はほぼ無限!
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