直流電源
![直流電源_01_TruPlasma-DC3040_0237[1].jpg](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/2094562/IPROS7910511425509066328.jpg?w=280&h=280)
![直流電源_02_TruPlasma-DC3040_26662[1].jpg](https://image.mono.ipros.com/public/product/image_sub/be5/2001552384/IPROS9248841942390467143.jpg?w=280&h=280)
![直流電源_04_TruPlasma-DC4040gr_26670_beschnitten[1].jpg](https://image.mono.ipros.com/public/product/image_sub/be5/2001552384/IPROS2238919270751175414.jpg?w=280&h=280)
![直流電源_06_TruPlasma_Highpulse_G2_mitHG_18x16cm_31_8_18_Var1[1].jpg](https://image.mono.ipros.com/public/product/image_sub/be5/2001552384/IPROS8034900519052964536.jpg?w=280&h=280)
スパッタリング、硬質コーティング、HiPIMSで活躍する直流電源
トルンプの直流電源は、エンドユーザー様のプロセスの最適化と再現性をサポートします。 過酷な環境でも動作するように設計されており、出力精度と異常放電の抑制において妥協を許しません。 モジュール式の直流電源は組み合わせることで、簡単に電力範囲を拡張することができます。 スパッタリング、硬質コーティング、DLCコーティング、HiPIMSなど様々なアプリケーションに対応した製品ラインアップを展開しています。
基本情報
【特長】 ・広範囲の出力特性 ・出力の柔軟性 ・高い出力効率 ・モジュール式による出力拡張性 ・高度な異常放電抑制の技術『ArcManagement』 ・コンパクトな設計 ・効率的な冷却設計（完全水冷を主に採用） ・幅広い入力電圧範囲 ・幅広い通信インターフェース 【出力仕様】 (1)TruPlasma DC シリーズ 3000 G2 ・出力 2kW-300kW (2)TruPlasma DC シリーズ 4000 G2 ・出力 5kW-40kW ・周波数 0kHz-100kHz (3)TruPlasma Highpulse シリーズ 4000 G2 ・出力 1MW-8MW ・周波数 1Hz-10kHz (4)TruPlasma Arc シリーズ 3000 ・出力電流 150Aもしくは200A
価格帯
納期
用途／実績例
【主要な用途】 (1) TruPlasma DC シリーズ 3000 G2 ・スパッタリング (2) TruPlasma DC シリーズ 4000 G2 ・反応性スパッタリング ・硬質コーティング ・DLCコーティング (3) TruPlasma Highpulse シリーズ 4000 G2 ・HiPIMS（高出力インパルスマグネトロンスパッタリング） ・硬質コーティング ・DLCコーティング (4) TruPlasma Arc シリーズ 3000 ・カソードスパッタリング（Cathodic Arc Sputtering） ・アークイオンプレーティング（Arc Ion Plating, AIP） 【主要な業界】 ・工業用コーティング ・半導体・電子部品 ・ソーラー ・ディスプレイ（FPD）
