静電チャックサポーター電気テスト用『CP Supporter』

接着剤不要の電界制御で薄型ウェハーの補強・固定が可能！　薄いウェハ―を固定した状態で　電気テストが可能です。

『CP Supporter』は、極薄ワークを吸着保持して補強する静電チャックキャリアです。表裏導通が可能なため、電気テストでご利用いただけます。コードレスの為、固定した状態で、さまざまなプロセスへの投入が可能。厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入できます。【特長】 ■表裏導通が可能なため電気テストでの利用が可能 ■接着剤を使用せず電界制御のみで薄型ウェハーの補強・固定が可能 ■コードレスの為固定した状態でさまざまなプロセスへの投入が可能 ■厚みが薄くウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報

【仕様(一部)】 ■対象物の材質：半導体 ■制御：専用コントローラ ■動作環境：大気～真空 200℃Max. ■吸着動作時間：30sec程度 ■吸着解除時間：5sec以内 ■定格入力電圧：AC100-115V 50/60Hz コンセント使用 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。