半導体製造装置用静電チャック　

半導体製造装置向け静電チャックです。 大気～高真空　極低温～高温-100～200℃で運用が可能です。導体~絶縁体基板　吸着可能

最終更新日 2026年04月15日

検査装置向け静電吸着ステージ

フィルム・金属箔・紙など薄物部材　多孔質材料の固定に好適な検査ステージ！　吸着痕対策　機種替えフリー対応が可能です。

最終更新日 2026年04月14日

静電チャックサポーターシステム ラインアップ

用途や吸着対象に合わせたサポーター　生産数量に適した給電治具をご用意しております！

最終更新日 2026年04月14日

静電チャックサポーター 電気テスト用『CP Supporter』

接着剤不要の電界制御で薄型ウェハーの補強・固定が可能！　薄いウェハ―を固定した状態で　電気テストが可能です。

最終更新日 2026年04月14日

自動機搭載用静電チャック『ティンハンド』

しわや傷発生がない！多孔質材のような穴開き品吸着も可能な静電吸着ツール

最終更新日 2026年03月23日

静電チャックサポーター

厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入可能！

最終更新日 2026年03月23日

ハンディタイプ静電チャック「ソフトパーム」

薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来の真空吸着式の持つ対象物への局所ストレスを解消！

最終更新日 2026年04月01日