【ウェハ・箔・フィルム・多孔質材】ハンディ静電チャックピンセット
薄い材料 ウェハー ガラス、金属箔、フィルム 紙などの搬送にピッタリ！真空吸着式で発生する吸着痕 変形ストレスを解消！
『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、 ハンドリングするハンディタイプの静電チャックです。 本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。 また、電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます。 【特長】 ■コードレスの為どこでも携帯可能 ■真空吸着式で発生する吸着痕や変形がありません ■凸凹面のある対象物も吸着可能 ■電位は最小に抑えられる為、裏面のゴミ吸着はなし ※詳細は資料をダウンロードいただくかお気軽にお問い合わせください。
基本情報
【吸着部ラインアップ】 ■4inch用 ■6inch用 ■8inch用 特注対応も可能です ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
