高精度な低温ドライ洗浄・表面改質を実現。エキシマ光照射装置
高エネルギーのエキシマ(VUV)光により、短時間でダメージレスな洗浄・改質を実現します。熱の影響を最小限に抑えた低温処理。
当製品は、ガラス、基板からフィルム、シートなどの表面を化学的に洗浄、改質することができる装置です。 水銀不使用・誘電体バリア放電励起方式のランプを採用しており、発光時のランプ温度が低く、かつ172nmの単一波長のため熱の影響を最小限に抑えた低温処理が可能です。 高濃度の活性酸素種や各種ラジカルを短時間で生成し、同時に基材上の有機物の化学結合を切断して酸化分解・揮発を促すことで、ダメージを最小限に抑えて高精度・短時間での有機物除去が可能です。 また、処理が必要なタイミングでの瞬時点灯が可能で、環境負荷低減やランニングコスト削減に貢献します。 【特長】 ■高フォトンエネルギー ■単一波長 ■低温照射 ■瞬時点灯点滅 ■水銀不使用 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【仕様】 ■光源：エキシマランプ（誘電体バリア放電励起方式） ■波長：172nm (Xe2* Type) / 222nm (XeCl* Type) / 308nm (XeCl* Type) ■172nmVUV光エネルギー：166.7kcal/mol ■構造例：平管/丸管 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途・実績例】 ■ガラス、基板、フィルム、シート等の表面洗浄・改質 ■コーティングや接着前の有機物洗浄・有機物除去 ■基材の親水化 ■オゾンによる酸化処理 ■プラスチック樹脂の表面処理 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
