実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』
ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パラメータによる比較評価、膜厚測定などにも対応可能
ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータによる評価等、様々なニーズにお応え致します。 ★サービスの詳細を知りたい方、ご依頼を検討されている方は お気軽に下記「お問い合わせ」ボタンより、ご連絡ください。 【特長】 ■各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能 （Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN 等） ■小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能 ■当社の技術者がレシピ製作やパラメータ設定のサポート ■プリカーサのお持込みも対応可能 ■定期的な小ロット生産可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ALD装置の特長】 ■プリカーサの熱分解リスクの低減 ■バブリングを用いないパーティクルレス化 ■供給・排気ラインの適した温度管理 ■Hi-Watty（AlNヒータ）を採用したヒートステージ ■多様なカスタマイズと安全構造 ■成膜種例（Al2O3、TiO2、HfO2、ZrO2、TiN、AlN 等） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ▼お問い合わせ先 TEL：相模原事業所 042-704-5352 MAIL：info@watty.co.jp
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
