ALD（原子層堆積）装置

2重構造チャンバによるメンテナンス負荷低減と内容積のコンパクト化を実現　弊社の熱ソリューションを集約し最適な温度管理を実現

最終更新日 2024年07月16日

実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パラメータによる比較評価、膜厚測定などにも対応可能

最終更新日 2024年07月16日