常圧用高精度ホットプレート
ヒータ一体型に比べ軽量、且つ低消費電力!分割設計によりFPD G8サイズも高精度分布を実現
基本情報
【加熱対象】 ■配管・容器 ■金属 ■液体 ■気体 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
【使用例】 ■レジスト、カラーフィルター等のベーキング(FEOL) ■プローバ等の検査装置(BEOL) ■マスクガラス加熱用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ヒータ一体型に比べ軽量、且つ低消費電力!分割設計によりFPD G8サイズも高精度分布を実現
【加熱対象】 ■配管・容器 ■金属 ■液体 ■気体 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【使用例】 ■レジスト、カラーフィルター等のベーキング(FEOL) ■プローバ等の検査装置(BEOL) ■マスクガラス加熱用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。