窒化アルミ製セラミックヒータ
高速昇温、高速冷却！金属アルミに近い熱伝導で、耐腐食性に優れています
ワッティーが提供する『窒化アルミ製セラミックヒータ（Hi watty）』は、 半導体製造装置にご使用いただけます。 純日本製高性能ヒータを使用しており、室温から600℃まで5秒で昇温。 製作可能寸法は130×130mmまたはΦ130mm以下で、カスタムが基本と なっています。 【特長】 ■5秒で600℃ 純日本製高性能ヒータ ■高速昇温、高速冷却 ■金属アルミに近い熱伝導 ■熱膨張が小さい ■電気絶縁性が高い ■優れた耐腐食性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ▼お問い合わせ先 TEL：相模原事業所 042-704-5352 MAIL：info@watty.co.jp
基本情報
【仕様】 ■最高使用温度：600℃ ■発熱体：タングステン ■熱伝導率：180W/m・K以上 ■熱膨張係数：4.6ｘ10-6/℃ ■体積抵抗率：1013Ω・cm以上 ■製作可能寸法：130×130mm または Φ130mm以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体製造装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
