7月3日(水)~7月5日(金)【展示会出展】ISSP2024企業展示コーナー出展のお知らせ

株式会社ウェーブフロント本社

2024年7月3日（水）～7月5（金）表面真空学会主催にて【ISSP2024(International Symposium on Sputtering and Plasma Processes 2024)】が開催されます。弊社は企業展示コーナーに出展いたします。 ■展示会ホームページ https://www.issp-jvss.org/ ISSPはスパッタリングとプラズマプロセス技術に特化した国際展示会です。 2019に開催されたISSP2019以来、5年ぶりの開催となります。弊社の展示コーナーにぜひお立ちよりください。技術担当者による相談会や弊社開発ソフトParticle-PLUS,DSMC-Nuetralsなどのデモも実施しております!! 皆様のご来場を心よりお待ちしております。

開催日時 2024年07月03日（水）～ 2024年07月05日（金）
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会場京都リサーチパーク〒600-8813 京都府京都市下京区中堂寺南町１３４
参加費有料詳しくは以下の詳細・申し込みをご覧ください

関連製品情報

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』
『Particle-PLUS』はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)などのシミュレーションに適したプラズマ解析ソフトウエアです。

【特長】 ●時間スキームに陰解法を用いており、通常の解法に比べて大きな　計算時間幅　Δt　で安定に時間発展を求めることが可能 ●中性ガスと電子およびイオンとの衝突反応モデルには　 onte-Carlo　Scattering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、　迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス　分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を　求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。
真空装置向け希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』
低圧条件のガス流れの解析ができる希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト

【特長】 ●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで，真空チャンバーを　用いる実験や装置開発に有用 ●CVD のような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ●非構造メッシュを採用しているので，実際の装置の形状そのままを　計算することが可能 ●高い並列効率から，大規模形状でも短時間で計算結果が得られます ●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が　有っても，必ず収束解を得られます ●充実した技術サポートにより，シミュレーションが始めての方や実験で　忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。
高速汎用プラズマ解析ソフトウェア『VizGlow』
プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授によって開発されたソフトウェアです。

VizGlowの特徴は、圧縮性流体モデルを採用しているため、様々な条件のプラズマ解析を行う事が可能な点にあります。シミュレート可能なプラズマの種類容量結合プラズマ (CCP) 誘導結合プラズマ (ICP) マイクロ波プラズマ (MWP) 直流 (DC) プラズマ大気圧プラズマ (APP) 微小放電 (MD)

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