真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』
低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト
【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【特長】 ●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで，真空チャンバーを 用いる実験や装置開発に有用 ●CVD のような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ●非構造メッシュを採用しているので，実際の装置の形状そのままを 計算することが可能 ●高い並列効率から，大規模形状でも短時間で計算結果が得られます ●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が 有っても，必ず収束解を得られます ●充実した技術サポートにより，シミュレーションが始めての方や実験で 忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。
価格情報
お気軽にお問い合わせ下さい。
納期
型番・ブランド名
DSMC-Neutrals
用途／実績例
◆有機EL ( OLED ) シミュレーション ※有機ELシミュレーションにおける成膜速度の均一性、形状の最適化、成膜分布の有機材料温度依存性など ◆分子線エピタキシー ( MBE ) シミュレーション ※分子線エピタキシーシミュレーションにおける分子線セル形状、成膜分布の均一性、濃度分布の最適化など ◆シャワーヘッド型 CVD ( 化学気相成長 ) ※成膜速度の評価 ※膜の均一性の評価 ※気相中の膜成長に影響を及ぼすラジカルの分布 ※基板表面の濃度分布 ※シャワーヘッド部分からチャンバー内へ流入するガス流速や流量の評価 ◆真空ポンプの排気シミュレーション ※コンダクタンスの温度・断面積依存性、ガス溜まり・脱ガスの影響など ◆マクロパーティクル ( ダスト ) の挙動 ※チャンバー内におけるマクロパーティクルの影響など ◆極超音速希薄流 ※物体周りの密度・温度分布、化学反応の影響など ◆衝撃波 ◆ベナール対流 ◆チャンバー内のダストの挙動 ※重力を考慮する必要があるダストの，膜への影響
カタログ（4）
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この製品に関するニュース（8）
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7月3日(水)~7月5日(金)【展示会出展】ISSP2024企業展示コーナー出展のお知らせ
2024年7月3日（水）～7月5（金）表面真空学会主催にて 【ISSP2024(International Symposium on Sputtering and Plasma Processes 2024)】が開催されます。 弊社は企業展示コーナーに出展いたします。 ■展示会ホームページ https://www.issp-jvss.org/ ISSPはスパッタリングとプラズマプロセス技術に特化した国際展示会です。 2019に開催されたISSP2019以来、5年ぶりの開催となります。 弊社の展示コーナーにぜひお立ちよりください。 技術担当者による相談会や弊社開発ソフトParticle-PLUS,DSMC-Nuetralsなどの デモも実施しております!! 皆様のご来場を心よりお待ちしております。
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取り扱いCAEソリューション
様々な分野で利用可能な豊富な 「CAEソリューション 」をラインアップ ■プラズマソリューション ・低温プラズマ解析【VizGlow】 圧縮性流体モデルを採用し様々な条件のプラズマを解析 ・熱プラズマ解析【VizSpark】 アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う温度上昇等を解析 ・粒子法プラズマ解析【Particle-PLUS】 低圧で特に半導体関連装置向けプラズマ解析が得意 ・3次元希薄気体解析【DSMC-Neutrals】 複雑な形状の計算に対応し 装置内全体のガス流れのシミュレーションを解析 ■材料開発統合シミュレーション【Materials Studio】 結晶成長や触媒,燃料電池,潤滑剤,触媒,ポリマーなど様々な分野に対応 ■ポンプ・バルブ専用熱流体解析【PumpLinx】 様々な容積形ポンプ,コンプレッサー,バルブの流体の過渡特性を解析 ■汎用熱流体解析ソフトウェア【Simerics MP for SOLIDWORKS】 SOLIDWORKS上で操作できるCAD統合型熱流体解析 ※詳しくお気軽にお問い合わせください!
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取り扱いCAEソリューション
様々な分野で利用可能な豊富な 「CAEソリューション 」をラインアップ ■プラズマソリューション ・低温プラズマ解析【VizGlow】 圧縮性流体モデルを採用し様々な条件のプラズマを解析 ・熱プラズマ解析【VizSpark】 アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う温度上昇等を解析 ・粒子法プラズマ解析【Particle-PLUS】 低圧で特に半導体関連装置向けプラズマ解析が得意 ・3次元希薄気体解析【DSMC-Neutrals】 複雑な形状の計算に対応し 装置内全体のガス流れのシミュレーションを解析 ■材料開発統合シミュレーション【Materials Studio】 結晶成長や触媒,燃料電池,潤滑剤,触媒,ポリマーなど様々な分野に対応 ■ポンプ・バルブ専用熱流体解析【PumpLinx】 様々な容積形ポンプ,コンプレッサー,バルブの流体の過渡特性を解析 ■汎用熱流体解析ソフトウェア【Simerics MP for SOLIDWORKS】 SOLIDWORKS上で操作できるCAD統合型熱流体解析 ※詳しくお気軽にお問い合わせください!
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様々な分野で利用可能な豊富な 「CAEソリューション 」をラインアップ ■プラズマソリューション ・低温プラズマ解析【VizGlow】 圧縮性流体モデルを採用し様々な条件のプラズマを解析 ・熱プラズマ解析【VizSpark】 アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う温度上昇等を解析 ・粒子法プラズマ解析【Particle-PLUS】 低圧で特に半導体関連装置向けプラズマ解析が得意 ・3次元希薄気体解析【DSMC-Neutrals】 複雑な形状の計算に対応し 装置内全体のガス流れのシミュレーションを解析 ■材料開発統合シミュレーション【Materials Studio】 結晶成長や触媒,燃料電池,潤滑剤,触媒,ポリマーなど様々な分野に対応 ■ポンプ・バルブ専用熱流体解析【PumpLinx】 様々な容積形ポンプ,コンプレッサー,バルブの流体の過渡特性を解析 ■汎用熱流体解析ソフトウェア【Simerics MP for SOLIDWORKS】 SOLIDWORKS上で操作できるCAD統合型熱流体解析 ※詳しくお気軽にお問い合わせください!
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取り扱いCAEソリューション
様々な分野で利用可能な豊富な 「CAEソリューション 」をラインアップ ■プラズマソリューション ・低温プラズマ解析【VizGlow】 圧縮性流体モデルを採用し様々な条件のプラズマを解析 ・熱プラズマ解析【VizSpark】 アークプラズマにより発生する熱や発熱に伴う温度上昇等を解析 ・粒子法プラズマ解析【Particle-PLUS】 低圧で特に半導体関連装置向けプラズマ解析が得意 ・3次元希薄気体解析【DSMC-Neutrals】 複雑な形状の計算に対応し 装置内全体のガス流れのシミュレーションを解析 ■材料開発統合シミュレーション【Materials Studio】 結晶成長や触媒,燃料電池,潤滑剤,触媒,ポリマーなど様々な分野に対応 ■ポンプ・バルブ専用熱流体解析【PumpLinx】 様々な容積形ポンプ,コンプレッサー,バルブの流体の過渡特性を解析 ■汎用熱流体解析ソフトウェア【Simerics MP for SOLIDWORKS】 SOLIDWORKS上で操作できるCAD統合型熱流体解析 ※詳しくお気軽にお問い合わせください!
取り扱い会社
当社は、各種プラント、工場等の設備・資産を管理・運営するための「設備保全 管理システム」を開発・販売しています。 現在、このシステムは、センサー情報やタブレット端末からの入力情報等のIoT 技術および機械学習等のAI技術を利用した故障予知機能や自動スケジューリング機能を有するシステムへと大きく進化する 過程にあります。 また、最近のDXの流れの一環で、工場の製造プロセスおよび研究開発の現場での デジタル化・自動化を行い現場の作業を効率化しようという流れが強まっています。 当社もこの流れの中で、研究開発の現場の効率化を目指すソルーションであるラ ボ管理システムLIMS（Laboratory Information Management System、ワークフローとデータ追跡・データ管理・データ分析・および電子実験ノート統合などの機能を備えた、ソフ トウェア）の提供をしています。
