プラズマ解析ソリューション
プラズマ解析ソリューション
弊社は熱流体解析はもちろん、お客様ご要望に応じて 非平衡プラズマ,アーク放電に関するプラズマ解析のコンサルティングサービスも行っております。 ◇半導体プロセスプラズマ ◇大気圧放電プラズマ など含め 弊社が取り扱うプラズマ解析の主な分野では ・薄膜のエッチング、成膜 ・照明、ディスプレイ ・ガス流れプロセス ・空気力学的流れの制御 ・化学プロセス ・燃焼点火/安定化 ・回路ブレーカー ・照明器具製造業 (HIDランプ, アークランプ) ・重工業(溶接、切断) ・コーティング (powder spray coating, etc.) ・遮断機製造業 ・自動車点火装置の製造業 (スパークプラグなど) ・宇宙空間での推進器(MPDアークジェットなど) 流体、構造、電磁場、化学反応等の様々な物理モデルを組み合わせた連成問題解析においても数多くの実績を持っております。
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【半導体向け】解析シミュレーションソフト ※カタログ進呈
工数・コスト削減に!薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能。導入後のサポートも安心。
最終更新日
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材料開発分析ソフトウェア『Materials Studio』
さまざまなタイプの材料に対応した材料開発シミュレーションソフトウェア 量子力学、古典力学、メソスケールでの解析に対応
最終更新日
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自動車用スパークプラグシミュレーション『VizSpark』
従来では困難だった自動車用スパークプラグのアークプラズマ解析も可能なシミュレーションソフトウェアです。
最終更新日
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トライボケミカル解析に『Materials Studio』
トライボケミカル(潤滑)反応のシミュレーション はじめ、さまざまなタイプの材料に対応した材料開発シミュレーションソフトウェア
最終更新日
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半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト
ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算
最終更新日
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自動車用点火プラグシミュレーション『VizSpark』
従来では困難だった自動車用点火プラグのアークプラズマ解析も可能なシミュレーションソフトウェアです。
最終更新日
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高速汎用プラズマ解析ソフトウェア『VizGlow』
プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授によって開発されたソフトウェアです。
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粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト
最終更新日
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アークプラズマシミュレーションソフトウェア『VizSpark』
世界で唯一のアーク放電専用解析ソフトウェア!点火プラグ、遮断器の解析に強い!!
最終更新日
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スパークプラグの摩耗解析も可能な『VizSpark』
従来では困難だったスパークプラグのエロージョン解析も可能な『VizSpark』。
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点火プラグのエロージョン解析も可能な『VizSpark』
従来では困難だった点火プラグの摩耗解析も可能な『VizSpark』。
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真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』
真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト
最終更新日
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3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト
最終更新日
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真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』
低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト
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アークプラズマシミュレーションソフト『VizSpark』
遮断器やリレーのアークプラズマ解析に。プラズマの専門家が開発。電気自動車の開発活発化に伴い引き合いが増加中
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ダスト挙動の解析ソフト『DSMC-Neutrals』
「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
最終更新日
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3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』
『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
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CVD装置用 解析ソフト『Particle-PLUS』
『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
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マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』
『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
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プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』
『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
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粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』
『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)などのシミュレーションに適したプラズマ解析ソフトウエアです。
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材料開発分析ソフトウェア『Materials Studio』
材料開発シミュレーションソフトウェア 量子力学、古典力学、メソスケールでの解析 マテリアルズインフォマティクスに適応
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第一原理計算には『Materials Studio』
材料開発シミュレーションソフト マテリアルズインフォマティクスに適応 第一原理計算、量子力学、古典力学、メソスケールでの解析
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CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』
『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
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シャワーヘッド型CVDの解析ソフト『DSMC-Neutrals』
「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
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ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』
『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです
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混合ポリマーなどの解析に『Materials Studio』
ポリマーなどの溶解解析などのシミュレーション はじめ、さまざまなタイプの材料に対応した材料開発シミュレーションソフトウェア
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CFRP(炭素繊維)等解析に『Materials Studio』
CFRP(炭素繊維)などの溶解解析シミュレーション はじめ、さまざまなタイプ材料に対応した材料開発シミュレーションソフトウェア
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高機能材料の解析に『Materials Studio』
高機能材料などの解析シミュレーション はじめ、さまざまなタイプの材料に対応した材料開発シミュレーションソフトウェア
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【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理
代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP(容量結合プラズマ)エッチングに関する『Particle-PLUS』解析事例
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