メムスサーモパイル真空センサ｜優れた再現性と長期安定性を実現

45mW(標準)の低消費力、そして2ミリ秒以下の超高速応答が可能！パルス励起を利用すると消費電力をさらに削減

最終更新日 2026年10月29日

MEMSピラニ真空トランスデューサー｜電池駆動機器向け低消費電力

Posifa社の実績のある第3世代MEMS熱伝導チップを採用！1mTorrから大気圧までの広い測定範囲を高い精度でカバー

最終更新日 2026年10月29日