【新製品情報】超純水中ホウ素をリアルタイム監視！「Sievers Boron Ultra」オンラインUPWホウ素計を発売
セントラル科学株式会社
セントラル科学株式会社は、超純水（UPW）中のホウ素をpptレベルでリアルタイムに監視可能な新製品「Sievers Boron Ultra オンラインUPWホウ素計」を発売しました。 本製品は、半導体製造におけるシリカ汚染の早期検出と、イオン交換樹脂の最適な管理を目的として開発され、ICP-MSに匹敵する高感度（0.010～100 ppb B）を実現。3分ごとの高速測定により、従来の分析手法よりも迅速なプロセス制御が可能です。 【主な特長】 ・pptレベルの超高感度検出（0.010～100 ppb B） ・ICP-MSに匹敵する精度で、シリカよりも早期にホウ素を検出 ・3分または6分の高速測定サイクル ・10.1インチのカラータッチスクリーンで直感的な操作性 ・IP45等級の防塵・防水性能を新たに取得 ・1流路／2流路モデルを選択可能 ・RoHS、CE、UKCA認証取得済み 【用途・導入メリット】 半導体・電子産業におけるUPWシステムの品質管理 イオン交換樹脂の再生・交換時期の最適化 シリカ汚染の早期検出による製品歩留まりの向上 ランニングコストの削減と設備寿命の延長
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