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半導体向け超純水製造装置の水質監視装置(TOC・ホウ素)

半導体製造における超純水(UPW)システムの品質管理に最適。TOCおよびホウ素の微量濃度を高精度で連続監視する分析装置シリーズ

【用途に応じたラインアップ】 原水、RO水、回収水、UF/EDI、ユースポイントなど、各工程に対応

基本情報

【ガス透過膜式導電率測定方式】 ・Sievers M9e 測定範囲:0.03 ppb~50 ppm 測定時間:2分間 ・Sievers M9e ターボモード 測定範囲:0.20 ppb~10 ppm 測定時間:4秒間 ・Sievers M9e 測定範囲:0.03 ppb~2.5 ppm 測定時間:3分間 【直接導電率測定方式】 ・CheckPoint e 測定範囲:0.05 ppb~5 ppm 測定時間:15秒間 【UPW用ホウ素計】 ・Sievers Boron Ultra 測定範囲:0.010~100 ppb B 測定時間:3分間 または 6分間

価格帯

納期

型番・ブランド名

Sievers TOC計・Boron Ultraシリーズ|超純水(UPW)監視用分析装置

用途/実績例

半導体製造におけるUPWシステムの品質管理 原水・RO水・回収水のTOC/ホウ素濃度監視 イオン交換樹脂の劣化検知 トラブルシューティング・定期診断

詳細情報

関連動画

ラインアップ(4)

型番 概要
TOC計 Sievers M9e アプリケーション:原水/RO水/回収水
オンラインTOC計 Sievers M500e アプリケーション:UPW/二次純水システム
TOCセンサー Sievers CheckPointe アプリケーション:診断/トラブルシューティング
オンラインUPWホウ素計 Sievers Boron Ultra アプリケーション:イオン交換樹脂・EDIにおける樹脂再生・交換時期の最適化

半導体向け超純水製造装置の水質監視(TOC&ホウ素)

技術資料・事例集

【半導体産業/電子産業向け】TOC計 Sievers M9e

製品カタログ

オンラインTOC計 M500e製品カタログ

製品カタログ

オンラインUPWホウ素計 Sievers Boron Ultra

製品カタログ

高純度蒸気の生成と効率的な発電のためのTOCとホウ素のオンラインモニタリング

アプリケーションノート

この製品に関するニュース(1)

取り扱い会社

弊社は、1967年(昭和42年)の創立以来、誰でも迅速、簡単、高精度に測定できる水質測定器の開発、普及に努めてまいりました。 地球の環境保全とともに、限られた資源である水の有効活用が求められている現在、弊社は水質測定器、技術、サービスを駆使してあらゆる水環境に対応する、トータルソリューションプロバイダーを目指しています。 また、最新の技術と長年のノウハウを生かし、使い安く、信頼できる水質測定器をより安く、より速く、より広くお届けすることをモットーとして努力してゆく所存でございます。

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