半導体向け超純水製造装置のTOCモニタリング
超純水のTOCを測定するためには最適な測定技術を選ぶ必要があります
【低濃度監視のための測定技術】 低濃度のTOCを監視する測定技術として、ガス透過膜式導電率測定方式と直接導電率測定方式があります。 Sieversはモニタリングポイントに合わせた最適な測定技術を提供しています。 ・TOC計 Sievers M9e / M500e（ガス透過膜式導電率測定方式） 超純水製造装置内に存在する有機ハロゲン化合物やアミンによる誤検知や検知漏れを防止 ・TOC計 Sievers CheckPoint e（直接導電率測定方式） 一般的な監視ポイント向け 迅速な診断/トラブルシューティング
基本情報
【ガス透過膜式導電率測定方式】 ・Sievers M9e 測定範囲：0.03 ppb～50 ppm 測定時間：2分間 ・Sievers M9e ターボモード 測定範囲：0.20 ppb～10 ppm 測定時間：4秒間 ・Sievers M9e 測定範囲：0.03 ppb～2.5 ppm 測定時間：3分間 【直接導電率測定方式】 ・CheckPoint e 測定範囲：0.05 ppb～5 ppm 測定時間：15秒間
価格帯
納期
型番・ブランド名
Sievers TOC計
用途／実績例
半導体産業における超純水製造装置の監視 サンプリングポイントによって適切なモデルが異なります M9e：原水/RO水/回収水 M500e：UPW/サブシステム CheckPointe：診断/トラブルシューティング
詳細情報
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【Sievers独自のガス透過膜式導電率測定方式】 導電率測定方式のTOC計では、有機物の酸化分解後に生成する二酸化炭素（炭酸根イオン）が示す導電率を測定することで、炭素濃度を算出します。Sievers M500eではテフロンの薄膜により二酸化炭素を試料水から分析計内の純水ラインに分離する「ガス透過膜モジュール」と称する二酸化炭素の分離測定メカニズムによって、他のイオンの影響を排除した正確なTOC測定を可能にします。
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【Sievers M9e】 Sievers M9e オンライン型 / ポータブル型は、独自のガス透過膜式導電率測定方式と幅広い測定範囲（0.03 ppb〜50 ppm）により、さまざまなアプリケーションに対応できます。オプションのターボモード（分析時間4秒）は回収水監視に役立ちます。 Sievers M9e の特長： ・ラボ型/ポータブル型/オンライン型の3モデル ・機差のマッチング ・超低濃度域の安定性 ・自動操作（校正 / 検証 / データ分析など） ・12か月の校正安定性
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【Sievers M500e】 Sievers M500eは、低濃度域（0.03 ppb〜2.5 ppm）を対象とした、無試薬型のUPW用オンラインTOC計です。 Sievers M500e の特長： ・水質に重大なリスクをもたらす有機酸や有機窒素化合物などをガス透過膜式導電率測定技術で検出 ・低DO水や水素水も測定可能 ・10インチタッチスクリーンによる直感的操作 ・イソプロパノール 100ppb 検証プロトコル ・水質変動に応じて自動でゼロ調整を行う、アダプティブオートゼロ機能
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【Sievers CheckPoint e】 Sievers CheckPoint eは、UPWシステムの診断 / トラブルシューティングツールに役立つDC技術のTOCセンサーです。 Sievers CheckPoint e の特長： ・直接導電率測定方式 ・軽量（3.6 kg）で持ち運びが簡単 ・加圧/非加圧サンプルの両方に対応可能
関連動画
ラインアップ（3）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| TOC計 Sievers M9e | アプリケーション：原水/RO水/回収水 |
| オンラインTOC計 Sievers M500e | アプリケーション：UPW/サブシステム |
| TOCセンサー Sievers CheckPointe | アプリケーション：診断/トラブルシューティング |
カタログ（4）
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取り扱い会社
弊社は、1967年（昭和42年）の創立以来、誰でも迅速、簡単、高精度に測定できる水質測定器の開発、普及に努めてまいりました。 地球の環境保全とともに、限られた資源である水の有効活用が求められている現在、弊社は水質測定器、技術、サービスを駆使してあらゆる水環境に対応する、トータルソリューションプロバイダーを目指しています。 また、最新の技術と長年のノウハウを生かし、使い安く、信頼できる水質測定器をより安く、より速く、より広くお届けすることをモットーとして努力してゆく所存でございます。
