半導体向け超純水製造装置の水質監視装置（TOC・ホウ素）
半導体製造における超純水（UPW）システムの品質管理に最適。TOCおよびホウ素の微量濃度を高精度で連続監視する分析装置シリーズ
【用途に応じたラインアップ】 原水、RO水、回収水、UF/EDI、ユースポイントなど、各工程に対応
基本情報
【ガス透過膜式導電率測定方式】 ・Sievers M9e 測定範囲：0.03 ppb～50 ppm 測定時間：2分間 ・Sievers M9e ターボモード 測定範囲：0.20 ppb～10 ppm 測定時間：4秒間 ・Sievers M9e 測定範囲：0.03 ppb～2.5 ppm 測定時間：3分間 【直接導電率測定方式】 ・CheckPoint e 測定範囲：0.05 ppb～5 ppm 測定時間：15秒間 【UPW用ホウ素計】 ・Sievers Boron Ultra 測定範囲：0.010～100 ppb B 測定時間：3分間 または 6分間
価格帯
納期
型番・ブランド名
Sievers TOC計・Boron Ultraシリーズ｜超純水（UPW）監視用分析装置
用途／実績例
半導体製造におけるUPWシステムの品質管理 原水・RO水・回収水のTOC/ホウ素濃度監視 イオン交換樹脂の劣化検知 トラブルシューティング・定期診断
詳細情報
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【Sievers独自のガス透過膜式導電率測定方式】 導電率測定方式のTOC計では、有機物の酸化分解後に生成する二酸化炭素（炭酸根イオン）が示す導電率を測定することで、炭素濃度を算出します。Sievers TOC計はテフロンの薄膜により二酸化炭素を試料水から分析計内の純水ラインに分離する「ガス透過膜モジュール」と称する二酸化炭素の分離測定メカニズムによって、他のイオンの影響を排除した正確なTOC測定を可能にします。
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【Sievers M9e】 Sievers M9e オンライン型 / ポータブル型は、独自のガス透過膜式導電率測定方式と幅広い測定範囲（0.03 ppb〜50 ppm）により、さまざまなアプリケーションに対応できます。オプションのターボモード（分析時間4秒）は回収水監視に役立ちます。 Sievers M9e の特長： ・ラボ型/ポータブル型/オンライン型の3モデル ・超低濃度域の安定性 ・自動操作（校正 / 検証 / データ分析など） ・12か月の校正安定性
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【Sievers M500e】 Sievers M500eは、低濃度域（0.03 ppb〜2.5 ppm）を対象とした、無試薬型のUPW用オンラインTOC計です。 Sievers M500e の特長： ・水質に重大なリスクをもたらす有機酸や有機窒素化合物などをガス透過膜式導電率測定技術で検出 ・低DO水や水素水も測定可能 ・10インチタッチスクリーンによる直感的操作 ・イソプロパノール 100ppb 検証プロトコル ・水質変動に応じて自動でゼロ調整を行う、アダプティブオートゼロ機能
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【Sievers CheckPoint e】 Sievers CheckPoint eは、UPWシステムの診断 / トラブルシューティングツールに役立つDC技術のTOCセンサーです。 Sievers CheckPoint e の特長： ・直接導電率測定方式 ・軽量（3.6 kg）で持ち運びが簡単 ・加圧/非加圧サンプルの両方に対応可能
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【オンラインUPWホウ素計 Sievers Boron Ultra】 UPW中のホウ素をpptレベルでリアルタイムに監視可能な唯一の装置です。 Sievers Boron Ultraの特長： ・ICP-MSに匹敵する性能 ・シリカに先行して検出 ・効率的な脱イオン制御
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ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| TOC計 Sievers M9e | アプリケーション：原水/RO水/回収水 |
| オンラインTOC計 Sievers M500e | アプリケーション：UPW/二次純水システム |
| TOCセンサー Sievers CheckPointe | アプリケーション：診断/トラブルシューティング |
| オンラインUPWホウ素計 Sievers Boron Ultra | アプリケーション：イオン交換樹脂・EDIにおける樹脂再生・交換時期の最適化 |
カタログ（6）
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この製品に関するニュース（1）
取り扱い会社
弊社は、1967年（昭和42年）の創立以来、誰でも迅速、簡単、高精度に測定できる水質測定器の開発、普及に努めてまいりました。 地球の環境保全とともに、限られた資源である水の有効活用が求められている現在、弊社は水質測定器、技術、サービスを駆使してあらゆる水環境に対応する、トータルソリューションプロバイダーを目指しています。 また、最新の技術と長年のノウハウを生かし、使い安く、信頼できる水質測定器をより安く、より速く、より広くお届けすることをモットーとして努力してゆく所存でございます。
