BS series 研究開発用 電子ビーム蒸着装置
用途や目的に応じて任意にカスタマイズ可能な真空蒸着装置
日本電子株式会社 BS series 研究開発用 電子ビーム蒸着装置は、研究開発や少量生産に適した蒸着装置です。 様々なオプション機器が搭載可能で、チャンバー形状やロードロック等、ご要望に合わせて制作します。 〇特長 ・蒸着源は、電子ビーム蒸着源（電子銃）、ボンバード蒸着源、抵抗加熱蒸着源を選択でき、任意に組み合わせて複数台搭載することが可能。 ・電子銃＋反射電子トラップ、またはボンバード蒸着減により、低温・低ダメージ蒸着が可能。特にレジストを用いるリフトオフ蒸着に有効。 ・アルミの安定蒸着ができ、繰り返し使用できるライナーもご提供。 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【オプション例】 ・反射電子抑制ユニット ・基板加熱 ・基板冷却（低温成膜） ・基板回転機構 ・プラネタリー回転機構 ・膜厚コントローラー（自動成膜） ・ロードロック機構 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
BS series
用途／実績例
【用途】 MEMS/パワーデバイス/LED/各種電子部品等の電極膜(Al,Au,Pt,Ni,Ti,Cr等)、光学薄膜向け金属酸化膜
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取り扱い会社
当社アズサイエンス株式会社は昭和49年（1974年）に発足以来、科学分野から医療分野に強みを持つ専門商社として、地域社会に貢献し生命追求科学の進歩を支えて参りました。 理化学機器・医療機器・検査機器・分析機器・体外診断薬・医薬品・試薬・消耗品など様々な分野の商品を取り揃えており、高度化・多様化するお客様のニーズにお応えします。更にネットワークを活用したソフト開発を積極的に進め、お客様のシステム化やお客様とのコミュニケーションの活性化に取り組んでいます。
