成膜関連機器
成膜関連機器
成膜関連機器のご紹介です。
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BS series 研究開発用 電子ビーム蒸着装置
用途や目的に応じて任意にカスタマイズ可能な真空蒸着装置
最終更新日
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BS-60610BDS ボンバード蒸着源
ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応
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BS-60310BDS ボンバード蒸着源
ダメージレス蒸着
最終更新日
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BS/JEBG/EBG series 電子銃
光学薄膜や電極膜など各種薄膜形成に利用される電子ビーム蒸着用電子銃(偏向型)
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BS-80020CPPS プラズマソース
無加熱成膜でも密着性が良く、充填密度の高い薄膜が形成できます
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BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃
学薄膜や保護膜、機能膜などの膜特性を向上させることができます
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BS-04 series ロータリーセンサー
長時間・多量の真空蒸着またはスパッタリングのプロセスに有効
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