株式会社サーマプレシジョン 公式サイト

硫酸銅めっき浴の分析に不可欠な測定装置！めっき添加剤二成分・三成分に対応！

【装置概要】 ■有機成分 ・促進剤（Brightener , Accelerator , Additive） ・抑制剤（Suppressor , Carrier , Polymer） ・レベラー（Leveler） ■無機成分 ・塩素（Chloride） ・硫酸（Acid） ・銅（Copper） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

解像力とアライメント精度を高め、量産プロセスに対応。UV-LED光源を採用し、ランニングコストを低減

用途：半導体後工程、RFフィルター、パワー半導体、電子部品、パッケージ、研究、MEMS 対応基板：ウエハ（特殊ウエハ含む）各種サイズ、ガラス、有機基板など 当社では、カスタム設計やレンズ設計・製造・販売、LED光源の販売も行っています。 詳しくはお気軽にお問い合わせください。

リフロー工程における加熱反り形状変化 解析！

【akrometrix社サーモレイ ハードウェアオプションラインナップ】 ○SRT Module　AXP専用オプション ○Digital Image Correlation(DIC)　AXP2.0,PS200Sオプション ○Digital Fringe Projection(DFP)　 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

お客様の測定アプリケーション（サンプル）にあった測定方法が選択が可能です。

【仕様】 ○最小サンプル – 0.5mm x 0.5mm ○データ密度 ‐ 625pixel/mm2 ○Z軸分解能 – 5 μm ○Z軸測定精度 – ±5 μm ○焦点深さ - ±10mm ○販売開始 2013年4月～ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

半導体、プリント基板、表面処理に！高い密着力を実現する室温スパッタ装置

【その他取扱商品】 [生産機器] ○投影露光装置（LED光源搭載） ○塗布装置/印刷装置 ○ケミカル処理装置（アンポックファーイースト社製） ○高精度ルーター機（ターリーテクノロジー社製） ○ブラシ式基板クリーナー（キューブリック社製） ○X線多層板検査装置（ソフテックス社製） ○高精度穴検査装置（ワールドテック社製） ○自動ビン打ちテープ貼り機（タイヨー工業社製） ○自動乾燥炉（グローアップ社製） [分析装置] ○硫酸銅めっき液全自動管理装置 ○硫酸銅めっき液添加剤測定装置 ○酸化膜・金属膜厚測定装置 ○熱リン酸中のSi濃度分析装置 ○電解・無電解液の各種メタル分析装置 ○3D加熱表面形状測定装置 ○銅膜厚測定器 [実験・評価用装置] ○R&D用塗布装置 ○R&D用露光装置 ○硫酸銅めっき液添加剤測定装置 ○酸化膜・金属膜厚測定装置 ○3D加熱表面形状測定装置 [光学コンポーネント製品] ○メタルハライド光源装置 ○露光装置用UV-LED光源 ○露光装置用超高圧水銀ランプハウス ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

銅酸化膜・スズ（錫）酸化膜・銀硫化膜の測定が可能 連続電気化学還元法 「SERA法」のご紹介です。 ワイヤ測定はQC-200

【金属膜厚測定可能金属】 [金属膜厚測定について] ○金：Min40Å（0.004μm）～ ○銅：Min200Å（0.020μm）～ ○ニッケル：Min200Å（0.020μm）～ ○銀：Min200Å（0.020μm）～ ○錫：Min200Å（0.020μm）～ 【その他】 〇アルミニウム酸化膜他についてはパラメータ開発中 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

シャドウモアレ測定による加熱時反り測定

【特徴】 ○グレーティングの選択により、Z軸分解能 1μm ～ 5μm の選択が可能 ○DICオプション追加でCTE値算出可能 ○Convectiveモジュール使用で、-50℃から280℃までの対流冷却、加熱が可能 ○その他Studioソフトウェアによる様々な測定、解析ソリューションを提供 →用途に合ったオプション機能の追加が可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

既存装置を使用して、今までの1/5の時間で5倍の結果を得ることが出来ます。

【特徴】 ○カメラビューに対して非垂直にオーブンに置かれたサンプルにも 　自動回転補正により測定エリアに追随する ○測定温度ごとに、ROIを各々のサンプルに自動的に指定 ○ROI番号で保存 ○マルチROI Reviewにより、Thermal Profilerで、 　データをチェックする事が出来る ○1つのサンプルだけが測定される場合でも、 　熱膨張によりサンプルが動いても、設定時間と生産性を改善する ○たくさんのサンプルを一度に測定するほど、生産性はより改善される ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

様々なポイントで自動化可能！効率UPの可能性がここにある！

【仕様】 ○最小必要面積：12.7mm × 12.7mm ○測定精度：±5% ○測定範囲：2.5μm～200μm ○プローブサイズ：63mmL × 20φ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。