スパッタリング装置
当社で取り扱っている「スパッタリング装置」について ご紹介いたします。
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超低温スパッタが可能|対向ターゲット方式スパッタリング装置
基板へのダメージがない!超低温スパッタが可能な真空成膜装置
最終更新日 2026年05月14日