超低温スパッタが可能｜対向ターゲット方式スパッタリング装置

基板へのダメージがない！超低温スパッタが可能な真空成膜装置

最終更新日 2026年05月14日

冷却なしでもフィルムへのスパッタが成膜が可能｜真空成膜装置

大面積へのスパッタが可能！冷却なしでもフィルムへの成膜ができます

最終更新日 2026年06月15日