製品サービス
製品・サービス
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窒化物半導体結晶成長(1)
MOCVD装置(有機金属化合物気相成長法)を用いたGaN 結晶成長に関する知見・ノウハウを持っております。 これらを用いた結晶成長の受託加工サービスを展開しております。
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ウエハ微細加工(1)
主として光学用途を目的とした、ウエハ表面への微細凹凸パターン加工が可能です。 ご希望の周期パターン・アスペクト比での加工はもちろん、設計からパターンなどのご提案もさせていただいております。 光学シミュレーションを事前に実施して、目標とする特性が得られるかどうかの検証をすることができますので、お気軽にお問い合わせください。
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デバイスプロセス加工(1)
LEDのデバイスプロセス技術を軸に据えた電極形成プロセスや、実装プロセスの加工ノウハウを有しております。 LEDやLD,FETなどのデバイス作製等の一貫加工から、エッチングや電極・メタル形成等、各工程個別での加工も承ります。