ウエハ微細加工

主として光学用途を目的とした、ウエハ表面への微細凹凸パターン加工が可能です。 ご希望の周期パターン・アスペクト比での加工はもちろん、設計からパターンなどのご提案もさせていただいております。 光学シミュレーションを事前に実施して、目標とする特性が得られるかどうかの検証をすることができますので、お気軽にお問い合わせください。