PLP・大型パネルプロセスに対応する高精度・低酸素クリーン熱処理
先端パッケージの大型パネル化に伴う熱処理課題の解決に貢献！
当資料では、510×515mmの大型パネルに対応し、低酸素・クリーン 環境下で高精度な熱処理を実現する低酸素クリーンオーブン「SCO」について、 ご紹介しております。 同機の構造を支える主要な技術要素について、それぞれの機能的意義と 構造的工夫に着目して解説。 構造図や各種データも掲載しておりますので、ぜひご一読ください。 【掲載内容】 ■PLP(パネルレベルパッケージ)実用化に向けた大型パネル向け高精度熱処理 ■先端パッケージ分野の熱処理品質を支えるSCOシリーズの主要技術 ■独自フィルターが均一な温度分布を実現 ■磁性流体シールによる高密閉性の実現 ■熱伸び対策によるパーティクル抑制 ■槽外水冷却機構による高温時の安全性向上 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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