基板・パネル向け低酸素クリーンオーブン『PVHC-31S』
大型化する先端半導体パッケージング分野の熱処理ニーズに応える新モデル！
『PVHC-31S』は、大型ワークやより精密な熱処理環境に対応する 熱処理ソリューションです。 冷却水の流路を炉外に配置する独自構造により、炉内の発塵源を無くした 効率的な冷却機構とシンプルな空調構造により高い温度分布性能を確保。 低酸素雰囲気を維持した急速冷却は、品質の確保とプロセスタイムの 短縮に貢献します。 【特長】 ■600×600mm角クラスの大型パネル状ワークの熱処理に対応 ■低酸素雰囲気と高クリーン度を両立し、安定したプロセス環境を提供 ■炉外に水クーラーを配置する事で、安全でクリーンな冷却能力を実現 ■自動搬送への対応、プロセスデータ管理・装置の集中管理に対応 ■自動扉や各種インターフェース・上位通信仕様など、 用途に応じたシステム構成が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【仕様】 ■内法：W800×H600×D800mm ■温度範囲：＋70℃～＋300℃ ■温度上昇降下時間：80℃→300℃/60 分、 300℃→80℃/90 分 ■残留酸素濃度：100ppm以下 ■クリーン度：クラス5 (温度安定時) ■オプション：自動扉対応、上位通信対応、GEM 通信対応、EFEM 連携対応 ※詳細仕様は別途打ち合わせ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
おすすめ製品
取り扱い会社
エスペックの環境創造技術はあらゆる地球環境の再現を可能とします。 この技術によって、私たちの暮らしを支えるさまざまな製品や技術、サービスの安全性、信頼性が確認されています。 机の置けるコンパクトサイズから大型製品用の恒温恒湿器、電子部品の信頼性をテストする冷熱衝撃装置をはじめ各種製品を取り揃えています。 当社ではお客様の試験計画の提案に始まり、試験器の選定と提供、環境試験の受託試験と分析・評価も行っています。さらに、製品のメンテナンスはもちろんのこと、製品レンタルや中古製品の販売など、さまざまなサービス内容で環境試験の総合ソリューションを提供しています。