株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社 公式サイト

<FINE series PURE>超高純度用、集積化ガスシステムです。

<IGSパネル完成の流れ> 1.IGS設計 2.部品選定・手配 3.ベースブロックの設定 4.上部機器取り付け 5.施工完了

<ニューV-Series>優れた性能、品質を有するチューブスコネクターです。

<仕様> 最高使用圧力(MPa):12～83.2 使用流体温度範囲(℃):-196～+537 要部材質:ステンレス鋼 接続方式:2圧縮リング方式 呼び径:1.6ｍｍ～25.4ｍｍ

<ニューV-Series>金属表面処理品が登場！

<仕様> 最高使用圧力(MPa):12～83.2(チューブ径と肉厚によります) 使用流体温度範囲(℃):-196～+300 要部材質:ステンレス鋼 接続方式:2圧縮リング方式 呼び径:1.6ｍｍ～12.7ｍｍ

熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。

更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 　流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 　低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 　安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 　高速応答ピエゾアクチュエータを採用 　デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上 　パーティクル発生 極少 ○デジタルインターフェース標準装備 RS485 ○RoHS対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。