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システム
その他
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システム【流量制御機器】FCS Pressure Series
超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。
最終更新日 2024年10月31日
システム【集積化ガスシステム】IGS(FS)
<FINE series PURE>超高純度用、集積化ガスシステムです。
システム【水分発生装置】WVG(FS)
<FINE series PURE>超高純度用、 触媒反応を利用した、水分発生装置です。
【漏洩検査液】ファインバブル
発泡性、浸透性に優れ、極めて少量を塗布するだけで、 微小なリークも確実に検出できます。
