■■ 10 mm角の電子デバイス用気密検査装置｜MSX-7003 series ■■ 比較的大きな電子部品が全自動で検査可能。LED,光デバイス, 高周波デバイス, パワー半導体, IRセンサ, ジャイロセンサ, 角速度センサ etc.

株式会社フクダ

「 MSX-7003 series 」の検査対象は比較的大きな電子デバイス品です。【検査対象】・LED ・光デバイス・高周波デバイス・パワー半導体・IRセンサ・ジャイロセンサ・角速度センサ・電解コンデンサ etc. 搬送系は ”パレット to パレット” を基本として、様々なワークに対応出来るように設計されています。以下の３工程・ヘリウムボンビング・グロスリークテスト・ファインリークテストを全自動で行う気密検査装置です。 10 mm角以下のパッケージングされた製品であれば、パレットやトレー等によるワーク設置からヘリウムボンビングを行い ↓ 高速ハンドリングによってリークテスト工程へ運ばれ ↓ グロスリークテストからファインリークテストと連続する工程を経て ↓ また高速ハンドリングによって、パレットに払い出されますインラインにも対応しています（パスラインの高さは 940 mm）下記リンクより、YouTube動画をご覧ください。