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■■ 10 mm角以下の電子デバイス用気密検査装置｜MSX-7003 series ■■ LED,光デバイス, 高周波デバイス, パワー半導体, IRセンサ, ジャイロセンサ, 角速度センサ など比較的大きな製品が全自動で検査可能です

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新発売の「 MSX-7003 series 」は、 比較的大きな電子デバイス品（LED, 光デバイス, 高周波デバイス, パワー半導体, IRセンサ, ジャイロセンサ, 角速度センサ, 電解コンデンサ etc.） を検査対象としていますので、 搬送系は ”パレット to パレット” を基本として、様々なワークに対応出来るように設計されています。 以下の３工程、 ・ヘリウムボンビング ・グロスリークテスト ・ファインリークテスト を全自動で行う気密検査装置です。 10 mm角以下のパッケージングされた製品であれば、 パレットやトレー等によるワーク設置からヘリウムボンビングを行い ↓ 高速ハンドリングによってリークテスト工程へ運ばれ ↓ グロスリークテストからファインリークテストと連続する工程を経て ↓ また高速ハンドリングによって、パレットに払い出されます インラインにも対応しています（パスラインの高さは 940 mm） 下記リンクより、YouTube動画をご覧ください。