●小型電子部品専用気密検査装置とは？ 水晶デバイス、セラミック発振子、光デバイス、パワー半導体、CANデバイス、レーザーダイオード、MEMSデバイス、SAWフィルタ、小型リレー、コンデンサなど、気密性が求められる小型電子部品のリークテストを行う装置です。 密封された製品のリークテストは、グロスリークテストとファインリークテストの２種類の検査を行う必要があります。 全行程を一台で行える全自動機や専用機（特注）、抜取り検査に便利な卓上タイプをラインアップしております。

気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売している株式会社フクダが、 気密検査の方法や理論を分かり易く解説した技術資料である、 『テクニカルマニュアル（Technical Manual）』 をＰＤＦデータとしてご提供させていただいております。 ぜひこの機会にダウンロードしてご覧ください！

●水素リークディテクタとは？ エアリークテストでは測定できなかった小さな領域まで漏れ測定が可能で、漏れ箇所の特定もできます。 水素5％+窒素95％の工業用混合ガス（非可燃性ガス：ISO10156：2017）をトレーサガスとして使用するディテクターです。 ●ヘリウムリークテストシステムとは？ 高精度または高圧の漏れ検査が適したリークテストシステムです。 ヘリウムリークテストシステムは、検知ガス（トレーサガス）にヘリウムガスを使用し、漏れ出たヘリウムを検知します。 フクダのリークテスターの中で、最も細かい漏れが検知可能なリークテスト方式です。

●包装容器エアリークテスト装置とは？ 医薬品などの包装容器の剥がれや破れ、ピンホールの有無を特定し、包装容器の完全性試験（CCIT）を行う漏れ試験装置です。軟包装、ボトル容器、ガラス容器など、幅広い種類の包装容器に適用できます。 測定方式は、＜密封チャンバー法（圧力変化漏れ試験法1 ）＞を採用しています。サンプルをチャンバに入れ、加圧または減圧し、チャンバ内の圧力変化を測定することにより、定量的な検査を行います。 製造オフライン、製造インライン、CMC 研究室、品質管理試験室、安定性試験など、さまざまな場面でご利用いただけます。 ※ 検査対象容器のことをワーク、あるいはサンプルと呼びます。ここでは、特定の試料をサンプルと呼称して、用語を使い分けています。

「MI-170 series」 RS-232C通信により、測定結果出力や設定データ入出力が行えます。上下限設定器等の条件設定を8種類設定可能です。圧力センサを4種類から選べ、精度、ゲージ圧、差圧により圧力センサと4種類から選択可能です。取り付けサイズはDIN96規格に準じたサイズとなっております。セパレート式エアリークテスタLPU-100シリーズと組み合わせることにより、エアリークテスタとしても使用可能です。 「DG-960 series」 精度、ゲージ圧、差圧により圧力センサを4種類から選択可能。取り付けサイズはDIN96規格に準じたサイズとなっております。 「MIZ-0175 series」 多彩で高機能な従来機種「MI-170」を更に機能向上させ、ダウンサイジングと液晶ディスプレイ採用により操作性・視認性が向上した新しいマルチインジケータ。安定した測定のためサンプリングレートを最大 4000 回 / 秒 を可能とし、各種補正機能やノイズキャンセル機能など、充実した機能を有します。

●フローテスタ・流量計とは？ 質量流量計やラミナフローメータにより流量を測定し、流量判定基準に従って良否判定を行います。通気流量測定や性能検査等に最適です。 「FMZ-1063 series」 FMZ-1063は質量流量計を内蔵したフローテスタです。 高精度　± 3.5 % of R.D. ± 1digit（常用流量領域）。 時間短縮機能（スキャン測定）を実現。FMZ-1063はコンパクトサイズで、様々な機能を持った、オールインワンのフローテスタです。 「FU series」 ラミナと差圧センサを一体化し、小型化・軽量化した流量測定用フローユニットです。表示用インジケータ（型式：MI-170）との接続で、流量直読表示や圧力及び流量判定を行えます。 「FLF-110 series」 2 NmL/min～500 NL/minまでの幅広い流量測定が可能です。

●フッ素系不活性液（PFAS）を使用しない、小型電子部品用の気密検査装置です。 ●液没検査による不安定な目視確認はもう必要ありません。定量検査が可能で安定的な圧力漏れ試験法を採用しています。 ●グロスリーク専用の卓上気密検査装置で、液没検査と同等以上の精度です。 ● 可検領域は 1×10⁻²Pa・m³/s ～ 1×10⁻⁶Pa・m³/s 程度（対象製品により異なります） ● 数ミリ角から、最大 80 × 70 mm までの密封構造製品が対象です。 この機会に是非お問い合わせください！

【 HDZ-0201 】は装置搭載式の水素リークディテクタです。 被検査品（ワーク）全体からの総合的な漏れを測定する場合に使用します。 ・ワークをチャンバで覆い、ワーク内部にトレーサガスを充填し、漏れ出たガスをチャンバ内に堆積させ、漏れ出たガスを攪拌し、強制循環させ、水素ディテクタによりガス濃度を測定する【大気圧チャンバ法】 ・チャンバ内を真空にした後、チャンバに大気を導入し、水素ディテクタにガスを導くことで、高感度な測定が出来る【真空チャンバ法】 の２つがあります。 小型・軽量で装置に組込み易い設計。 加えて濃度分解能力は0.1 ppmまでの超高感度（設定条件や環境条件によります）。 検知原理：半導体式 検出感度：1×10⁻⁶ Pa･m³/s 相当（検査条件、測定環境による） 使用法：装置組込み型（装置搭載式専用） 分解能：0.1 ppm 電源電圧：DC 24 V 外観寸法：W 93 × D 91 × H 97 mm

株式会社フクダから発売中の【 HDA-0100 series 】は、 「ポータブル水素リークディテクタ」です。 ■小型軽量で持ち運びに便利（約 400 g・バッテリー含む） ■電池駆動でコードレス（連続使用時間 約８時間） ■高感度で広範囲（0.5 ppm ～ 5000 ppm ）な水素測定が ハンディタイプで可能 などの特長があります。 『 水素リークディテクタとは？ 』 エアリークテストでは測定できなかった小さな領域まで 漏れ測定が可能で、漏れ箇所の特定もできるテスタです。 トレーサーガスとして水素5％+窒素95％の工業用混合ガス （非可燃性ガス：ISO10156：2017）を使用します。 詳細につきましては下記のリンクより、 関連リンク・関連製品情報・関連カタログをご覧ください。

新発売の「 MSX-7003 series 」は、 比較的大きな電子デバイス品（LED, 光デバイス, 高周波デバイス, パワー半導体, IRセンサ, ジャイロセンサ, 角速度センサ, 電解コンデンサ etc.） を検査対象としていますので、 搬送系は ”パレット to パレット” を基本として、様々なワークに対応出来るように設計されています。 以下の３工程、 ・ヘリウムボンビング ・グロスリークテスト ・ファインリークテスト を全自動で行う気密検査装置です。 10 mm角以下のパッケージングされた製品であれば、 パレットやトレー等によるワーク設置からヘリウムボンビングを行い ↓ 高速ハンドリングによってリークテスト工程へ運ばれ ↓ グロスリークテストからファインリークテストと連続する工程を経て ↓ また高速ハンドリングによって、パレットに払い出されます インラインにも対応しています（パスラインの高さは 940 mm） 下記リンクより、YouTube動画をご覧ください。

【 特殊仕様品 】 防水規格IPX7／IPX8相当の検査ができます。 被検査物を水に濡らさない乾式の非破壊検査ができます。

医薬包装品に対する「水没試験に代わる非破壊検査装置」をご紹介。 「バイアル全数漏れ試験装置｜MSQ-2002 series」 各種バイアル・ボトル・点眼薬・円筒容器などの漏れ試験を完全自動化。 下記リンク先より動画・カタログなどを是非ご覧ください。

● 密封された製品の密封性や防水性を圧力変化量によって判断するため、実際に水を製品に噴射したり、水に漬けこんだりする検査は必要ありません。 ● 製品を検査装置内の専用治具に収納すれば、後は自動計測で防水性が定量で確認できます。 ● 対象製品サイズは W 300 × D 210 × H 100 mm 以下。 ● 対象製品は車載カメラやスマートフォン、ECUや小型モータ他包装容器など、密封性や防水性、気密性の確認を必要とする製品全般に有効です。 ● 製品仕様や詳細については当社にお問い合わせください。

フクダの新しいフラッグシップモデル。 ・マスタレスタイプ（FLA-0200 series） ・汎用型（FLA-0201 series） の２機種のエアリークテスタを販売開始しました。 マスタリング補正機能搭載で短時間でも高精度測定が可能となっています。 ぜひカタログをご覧ください。

【 特殊仕様品 】 小容量の製品に対して極めて有効な検査が実施可能な、ミリ波レーダー & LiDAR 用リークテスタ。 セパレートタイプリークテスタ空圧ユニットLPU-300制御用のFL-610です。

【 特殊仕様品 】 圧力再現性が高く、短時間で希望圧力に到達。 血圧計圧力確認用電空レギュレータで、圧力制御の繰り返し再現性、圧力調整に優れています。

【 特殊仕様品 】 試験体２個を同時に計測できます。 同時に２つを比較することで稼働数を増やせます。

【 特殊仕様品 】 製品に影響を及ぼさない低圧での試験に特化したテスタ。 フクダの低圧減圧弁と一緒にご使用ください。

【 特殊仕様品 】 エアリークテスタの周辺機器です。 旧型製品などを現行製品に置き換える際、または現行製品の型式変更の際に使用します。

EV（電気自動車）のバッテリケース用のエアリークテスターです。 バッテリケースには「大型で内容積が大きく、内部の加圧により変形が考えられるような構造」という特徴があります。このためエアリーク検査では「大型で容量が大きいことに起因するノイズ」と「内部を加圧することによる膨張や変形などに起因するノイズ」が発生します。このノイズを軽減させることを目的として、新開発のスムージング機能とリニアフィッティング補正機能を併用して測定しているのが本機の特徴です。 また制御が難しい低圧制御と大容積に対する流量拡大を実現するために、正確な圧力制御ができる電空レギュレータと大流量を供給するために有効径が大きい加圧弁を有したバイパス用のBOX（CBU-600）をご用意しています。 測定方式：ワーク・ワーク比較、ワーク・マスタ比較、固定マスタ比較 測定圧力範囲：10 kPa・20 kPa・50 kPa（仕様選択による） ゲージ圧センサ精度：±2 % F.S. 差圧センサ精度：±0.5 % F.S. グループ設定：0 ～ 31 グループ 電源電圧／消費電力：AC100 ～ 240 V / 100 VA

▶▶▶ 電池の製造ラインでは銅系を含有している部品を使用した場合、その金属粉が混入すると、溶解しイオン化され、セパレータを通り抜け、正極と負極を繋げてしまう不具合が発生することがあります。 ▶▶▶ このような微少な金属粉は出荷前の検査で発見されなかったり、発見できたとしても発見するための検査工程を増やしたりと様々な弊害の原因となります。 ▶▶▶ そこでフクダは電池製造メーカー様や二次電池製造装置メーカー様の生産ラインでも安心してご使用いただける銅レス（オールステンレス製）のエアリークテスタを開発いたしました。 ▶▶▶ 製品仕様や詳細については、下記の「関連製品情報」「関連カタログ」をご覧ください。