圧力センサ｜13mmシリーズ ステンレス鋼 圧力センサ
13V: SEMI F20準拠 316Lステンレス鋼 メディア絶縁型センサー
Honeywell 13Vシリーズ ステンレス鋼圧力センサーは、過酷な環境下でのガスや液体の流量測定を伴う超高純度（UHP）用途向けに設計されています。堅牢なメディア絶縁型パッケージ圧力センサーは、Honeywellの実績あるピエゾ抵抗型半導体センサーチップをオイル絶縁ハウジング内に搭載。この設計は高い信頼性、安定性、精度を実現します。SEMI F20準拠のリングとダイアフラムを採用し、特に半導体製造工程で一般的なハロゲン系ガスの攻撃性に耐える優れた耐食性を発揮します。堅牢な構造により、環境要因からの保護と正確な圧力測定を両立します。13V圧力センサーは、長期間の真空条件下でもオフセットドリフトを最小限に抑えるよう設計されており、測定精度と材料の完全性が重要な産業用途に最適です。ウェルドリングカラーと特殊なバックサポートリングを備え、高サイクル寿命を実現。OEM（相手先ブランド製造）用途でのパッケージ統合にも対応しています。
基本情報
主な特長 ・500 psia対応 ・SEMI F20準拠 ・堅牢な絶縁型ステンレス鋼パッケージ 機械的・環境的仕様 接液部品：SEMI F20 UHP規格に準拠したウェルドリングとダイアフラム 耐久性：最低1,000万回の圧力サイクル 耐振動性：IEC 60068-2-6に準拠し、20Hz～2000Hzで10G 耐衝撃性：IEC 60068-2-27に準拠し、50G 絶縁抵抗：50Vdcで100MΩ 表面仕上げ（ダイアフラム）：非溶接中央部でRa 0.127μm未満 保管温度：-40°C～125°C 動作温度：-40°C～125°C
価格帯
納期
型番・ブランド名
13mmシリーズ 圧力センサ
用途／実績例
・半導体製造装置 ・統合ガスシステム（IGS） ・プロセス制御用ガス ・マスフローコントローラー ・液体流量監視 ・太陽電池パネルディスプレイ／計測機器 ・医療機器
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