圧力センサ｜HPTシリーズ 高純度圧力センサー
13V: SEMI F20準拠 316Lステンレス鋼 メディア絶縁型センサー
ハネウェルHPTシリーズ圧力トランスデューサは、施設のガス供給システム内のガス測定用に設計されています。これらのシステムは、中央供給源から使用ポイントまでガスを供給するためのものであり、多くの場合、高純度かつ腐食性のガスが使用されます。 HPT圧力トランスデューサは、ハネウェルの実績あるピエゾ抵抗式センシング技術とASIC（アプリケーション固有集積回路）、信号調整回路をステンレススチールハウジングと電気コネクタ内に搭載しています。316Lウェッティング材とVIM-VAR溶解プロセスを採用し、優れた耐腐食性を実現。半導体製造工程で一般的に使用されるハロゲン化ガスなどの攻撃的なガスにも耐えられるよう特別に設計されています。堅牢な構造と精密な校正により、環境要因からの保護と正確な圧力測定を両立します。 特長 ・圧力範囲：-14.7 psi ～ 250 psi、-14.7 psi ～ 3000 psi（ゲージ） ・優れた長期安定性 ・高精度 ・超高純度 ・高速応答 ・重工業レベルの優れた電磁両立性（EMC） ・オイル・グリースフリー、完全メディア分離 ・全温度範囲補償、ソフトウェアゼロ調整対応
基本情報
主な仕様（25°C時） 動作温度範囲：-20°C～85°C 保管温度範囲：-20°C～85°C 補償温度範囲：0°C～60°C 精度：±0.25%FSS 全誤差帯域（TEB）：±1.5%FSS（-20°C～85°C） 応答時間：2ms（10%～90%ステップ変化時） 起動時間：7ms未満 EMC規格：IEC 61000-4-2, IEC 61000-4-3, ISO 11452-2等に準拠 絶縁抵抗：100MΩ超（500Vdc）耐電圧：250Vacで1mA未満（60秒） 耐久性：100万サイクル（90%フルスケール圧力まで） ヘリウムリークレート：1×10⁻⁹ mbar l/sec未満（Semi F1準拠） 出力配線：2線式出力：4mA～20mA 電源電圧：10Vdc～30Vdc 振動：EN 60068-2-6, IEC 60068-2-6 準拠衝撃：IEC 60068-2-27: 500g（1.5ms） 湿度：0%RH～45%RH（結露なきこと） 保護等級：IP67ウェット 部材質：316L VIM-VAR外装材質：304ステンレススチール
価格帯
納期
型番・ブランド名
HPTシリーズ 高純度圧力センサー
用途／実績例
・OEM特殊ガスキャビネット ・バルブマニホールドボックス/パネル（VMB/VMP） ・薄膜成膜装置 ・エッチング装置
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