林純薬工業株式会社 電子材料部 公式サイト

Al、Al合金膜を腐食することなく、Siを良好に異方性エッチングします。

AlまたはAl合金膜を所望のテーパー角でエッチングします。

AlGaInP膜の表面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上させることができます。

GaP膜の表面およびGaP基板の表面、斜面、側面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上させることができます。

AlGaAs膜、GaAs膜、GaAs基板の表面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上させることができます。

Al、Al合金膜を腐食することなく絶縁膜を良好にエッチングします。 エッチング加工用とSi自然酸化膜除去用を取り揃えています。

GaN（N面）膜の表面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上させることができます。