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GaN（N面）粗面化エッチング液
GaN（N面）膜の表面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上させることができます。
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Alダメージレス絶縁膜エッチング液
Al、Al合金膜を腐食することなく絶縁膜を良好にエッチングします。 エッチング加工用とSi自然酸化膜除去用を取り揃えています。
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AlGaInP粗面化エッチング液
AlGaInP膜の表面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上させることができます。
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GaP粗面化エッチング液
GaP膜の表面およびGaP基板の表面、斜面、側面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上させることができます。
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AlGaAs・GaAs粗面化エッチング液
AlGaAs膜、GaAs膜、GaAs基板の表面を良好に粗面化エッチングし、光取り出し効率を向上させることができます。
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Alテーパーコントロールエッチング液
AlまたはAl合金膜を所望のテーパー角でエッチングします。
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AlダメージレスSiエッチング液（異方性）
Al、Al合金膜を腐食することなく、Siを良好に異方性エッチングします。
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