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『SLAシリーズ』動作原理
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【動画】マスフローコントローラ(MFC)『SLAシリーズ』動作原理

SLAシリーズにおける動作原理を動画で解説しております。(英語) https://www.youtube.com/watch?v=XKpX3rrt1qc 動画チャプター 00:00 Brooks Instrumentとは 00:10 熱式質量流量計への電源の接続方法 00:24 熱式質量流量計の基本構造 00:35 気体流の一部をラミナーフローエレメントで分岐 00:56 熱センサーによる温度差…

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