プラスチックには適さない高圧や高温の液体や気体の流量を測定する 場合、当社の堅牢な「ガラス管式面積式流量計（ローターメータ）」を 使用すれば、より正確な流量を測定することが可能です。 より幅広い流量レンジができ、様々な液体や気体に適しています！ 【特長】 ■ガラス管面積式流量計 ・高い耐久性・エコノミー・操作性に優れた流量計測技術 ・より幅広い流量レンジが可能であり、様々な液体や気体に適している ■金属管面積式流量計 ・高圧・過酷な温度環境下での使用に耐える耐久性と精度 【ラインアップ】 ■ガラス管面積式流量計 ・Sho-Rate モデル1350, 1355, 1358 ・GT1600 シリーズ ■金属管面積式流量計 ・MT3750 シリーズ ・MT3809 シリーズ ▼詳しくはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/variable-area-flow-meters

プロセス流体の視認が必要な気体および液体のアプリケーションにおいて、長期的に安定したパフォーマンスを実現する堅牢な設計で、小流量から大流量の測定に適したガラス管面積式流量計です。1分31秒の動画でご説明いたします。 https://www.youtube.com/watch?v=BgZMdBY4kLM 収録内容 ■基本的な仕組みや用途 ■特長 ■重要な流れの状態を監視 ■目盛設計（読み取りやすいスケール設計により、正確な流量監視が可能。直感的に操作できるため、トレーニング不要で使用できます。）

GT1000、GT1300、Full-View(R) モデルの後継機種 『精度要件を満たすために作られたシンプル且つ堅牢な設計』 プロセス流体の視認が必要な気体および液体のアプリケーションにおいて、長期的に安定したパフォーマンスを実現する堅牢な設計で、小流量から大流量の測定に適したガラス管面積式流量計です。 精度範囲はフルスケール流量の1％〜10％からオプションで選択できます。パージ流量の管理、シールオイルユニット、ベアリングの潤滑油、冷却水の管理などのアプリケーションに最適です。 また、当社のGT1000、GT1300、およびFull-View(R)1100シリーズ（モデル1110、1114、1140、1144）を更新される際は、取り付け互換性のある後継品としてモデルコードから選択可能です。 用途 ■ 工業用プロセス ■ 医薬品製造 ■ 石油とガスのポンプと精製プロセス ■ 化学製造 ■ バーナー制御 ■ 水処理・給水システム

『最高の性能を最大限に引き出す』 半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ（P-MFC）です。 GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスでも高精度なプロセスガス供給を可能にする特許取得済みのアーキテクチャを採用しています。また、差圧センサーを内蔵し、下流側にバルブを配置するなど独自の設計を採用することで、業界で最も広い範囲の動作条件で高精度のプロセスガス供給を可能にしています。 幅広いプロセス条件に対応しているため、従来のP-MFCやサーマルMFCの代替品やアップグレード品として使用することができます。また、圧力調整器や変換器などの部品が不要になるため、ガス供給システムを簡易化し、コストを低減することができます。 【主な用途】 ■ 半導体製造 ■ エッチング ■ CVD ■ 高純度のオールメタル流路を必要とするガス流量制御アプリケーション

GP200シリーズの金属シール型・圧力ベースのマスフローメータ（P-MFC）動作原理を動画で解説しております。（英語） https://www.youtube.com/watch?v=ZWB03A_9fo8 動画チャプター 00:00　Brooks Instrumentとは 01:00　従来型圧力ベースMFCとは 02:10　GP200圧力ベースMFCの紹介 03:30　GP200 MFCの利点 03:50　GP200 MFCの圧力計測方法 04:45　GP200の優位性 この圧力ベースのマスフローメータは、従来型の圧力ベースMFCが抱える制約を克服し、プロセス性能を大きく向上させる独自の設計を採用しています。

モデル SLA5850/SLA5851/SLA5853/SLA5860/SLA5861/SLA5863 『1台あれば、14種類の圧力や流量レートを1つのプロセスで使用できる。』 そんなマスフローコントローラプラットフォームを想像してみてください。しかも、優れた再現性、精密度、繰り返し出力を備えています。これがSLA5800シリーズマスフローコントローラ/メータの進化したシンプル性能です。 SLA5800シリーズは、マスフロー測定と制御テクノロジーで業界をリードするブルックスインスツルメントならではの高い精度、ゼロ点安定性、繰り返し性を備えています。設定可能な高度なマルチガス/マルチレンジ機能を搭載し、競合製品と比較して優れたゼロドリフト仕様を提供すると同時に、出荷時キャリブレーションと精度を長期的に維持することが実証されています。

SLAシリーズにおける動作原理を動画で解説しております。（英語） https://www.youtube.com/watch?v=XKpX3rrt1qc 動画チャプター 00:00　Brooks Instrumentとは 00:10　熱式質量流量計への電源の接続方法 00:24　熱式質量流量計の基本構造 00:35　気体流の一部をラミナーフローエレメントで分岐 00:56　熱センサーによる温度差の測定 01:08　優れたセンサー安定性 01:37　プロセスガス流量の測定方法 02:17　熱式質量流量計の回路基板 02:34　高度なアラームおよび診断機能とは ＜コリオリ式流量計がもたらす主な利点＞ ■センサの長期安定性により、メンテナンスや定期的な再キャリブレーションの必要がなく、総所有コストを削減 ■ブルックスインスツルメント独自のサーマルセンサテクノロジーにより、S/N比を改善し、低セットポイントにおける流量精度を向上

さまざまな市場からのアプリケーションノートでは、Brooks Instrumentの測定および制御技術が、相手先商標製品メーカー、パイロットプラント、生産プラント、研究所、大学などの競争力をいかに生み出すかを紹介しています。 ■ アナライザー市場 ■ 航空宇宙および自動車 ■ 化学・石油化学 ■ フード＆ビバレッジ ■ ライフサイエンス：バイオテクノロジー、製薬、医療機器 ■ 石油・ガス ■ 半導体製造 ■ 薄膜、コーティング、および表面処理 ■ 水処理・廃水処理 詳しくはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/markets

エネルギー革新における精密制御の実現 水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える 現場には、正確な流れを見守る技術があります。 ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 https://mono.ipros.com/product/detail/2001538519/

Quantim QMC コリオリ式流量計（第3世代）で採用されている動作原理を動画で解説しております。（英語） https://www.youtube.com/watch?v=_BXWlSn3Q_I 動画チャプター 00:00　Brooks Instrumentについて 00:16　コリオリ質量流量計の動作原理 00:27　運動量保存の法則 00:40　角運動量保存の法則 00:52　コリオリ質量流量計の基本構造 01:07　電源の投入方法 01:23　高い安定性を誇るセンサー構造 01:40　自然周波数で振動するセンサーチューブ 02:14　センサーチューブの位相差検出 02:59　電子回路による信号処理 03:08　プロセス流量の測定方法 03:47　回路基板の役割 03:58　高度なアラームと診断機能とは 04:22　校正について ＜コリオリ式流量計がもたらす主な利点＞ ■プロセスの品質、歩留まり、生産性を向上 ■研究室からパイロットプラント、さらに製造ラインへのスケールアップ時間を短縮 ■総所有コスト（TCO）の削減

新しいQuantim QMC コリオリ式流量計（第3世代）は、微少流量の気体や液体の測定と制御のアプリケーションに最適です Quantim(R) QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、微少流量の気体や液体に対して極めて正確で安定した、再現性のある測定と制御を実現します。この第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、プロセスの品質、生産の歩留まり、スループットを高めることで、ラボからパイロットプラント、生産までのスケールアップ期間の短縮に貢献します。 新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローのシリーズは、ブルックスインスツルメントのQuantim 旧モデルと取付寸法、機能面で互換性があります。 用途 ■ 触媒研究 ■ 化学パイロットプラントにおけるマスバランス計算 ■ 気化機へのプリカーサ供給 ■ 精密コーティング ■ 高精度充填ステーション ■ 定量ポンプのフィードバック/制御ループ ■ 真空プロセス ■ 半導体ウェーハプロセス

モデル GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126 『優れた応答速度や繰り返し性で、高清浄度・超高清浄度のプロセスガス供給を実現』 半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo(TM) テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 用途 ■ 半導体エッチングツール ■ 薄膜化学蒸着（CVD）システム（CVD、MOCVD、PECVD、ALD） ■ 物理蒸着（PVD）システム ■ エピタキシャルプロセスシステム

【新製品情報】 コリオリ式マスフローコントローラ/メータ『QMCシリーズ』 GF120xHTシリーズ メタルシール仕様『高温用マスフローコントローラ』 ★【パネル資料】にて特長をご確認ください！ オンラインでの説明会も承ります。 ご興味ある方はお気軽にお問い合わせください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/about-us/contact

■ ワイドな流量範囲/圧力条件とデジタルI/Oに対応 ■ 証明書と認証 ■ アプリケーション こちらよりご覧ください。 https://www.ipros.jp/catalog/detail/752600 関連カタログからもご覧いただけます。

ホットメルトエクストルージョン（HME）は、熱と圧力を加えてポリマーを溶かし、連続プロセスで型に押し出す方法です。HMEはプラスチック産業で広く応用されており、最近では医薬品の剤形やドラッグデリバリーシステムに使用されています。HME プロセスは、医薬品の有効成分 (API) をポリマーおよびその他の賦形剤と高温高圧で混合するために使用されます。押し出された材料は、カプセルへの充填や、錠剤への圧縮のために、マイクロペレットに切断または粉砕することができます。 ☆アプリケーションノートを公開中☆ 『コリオリ式マスフローメータを用いた超臨界CO2の高精度計測・制御によるドラッグデリバリーシステムの強化』 続きはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/blog/highly-reliable-accurate-coriolis-flow-meter-for-carbon-dioxide-injection [ITWジャパン株式会社ブルックスインスツルメント]

日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像 できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術　ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、 コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 【PVDとCVDの技術】 ⚫ PVDとは ⚫ CVDとは ⚫ 熱フィラメントCVDとは ⚫ プラズマCVDとは ⚫ CVDプロセス ⚫ CVDアプリケーションの範囲 ⚫ バッテリー市場 ⚫ バッテリー市場で活用される薄膜技術 是非、ご一読ください https://mono.ipros.com/news/detail/129945/

CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、 プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介 日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には 想像できなかったような機能を備えています。 このような高性能を実現したのは、以下のような幅広い用途で 利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術　ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、 コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 薄膜技術の説明やCVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、 プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例を ご紹介いたします。是非、ご一読くださいませ。 ★CVDとPVDの説明をさらに掘り下げた基礎知識や、 ガラス業界向けのガラスコーティングに関する基礎知識資料も進呈！ https://mono.ipros.com/news/detail/128269/

******************************** 出展ブース：小間番号 8-38 東京ビッグサイト 東展示場 ******************************** 出展ブースでは、水素・燃料電池の研究開発や製造で実績のある各種流量計を展示しております。弊社のサーマル式マスフローは専用のソフトウェアを使って、機器の状態をリアルタイムにモニターすることができます。また、制御バルブのPIDパラメーターの調整やアラームの設定、ガス種やフルスケール流量レンジの設定変更など、オンサイトでのカスタマイズも可能です。 展示会場ではユーザーフレンドリーで多機能なソフトウェアの操作性を体験していただけるよう、専門のスタッフが皆様のご来場をお待ちしております。 ▼ 注目の出展製品 ◎GF40シリーズ：ガス種・レンジ変更対応 サーマル式マスフローコントローラ/メータ ◎QMBシリーズ：コリオリ式マスフローコントローラ/メータ ◎SLA5800シリーズ：高圧・大流量対応 サーマル式マスフローコントローラ/メータ

******************************** 出展ブース：小間番号 W1-57 東京ビッグサイト 西展示場 ******************************** 燃料電池の性能を評価する際に使用する燃料電池テストスタンドでは、ガスの流量制御は高精度であることに加えて再現性の高いことが重要です。ブルックスインスツルメントのマスフローは卓越した長期安定性を備えたセンサーを搭載し、広い流量範囲や圧力変動に対して柔軟に制御することが可能なデバイスです。また、専用のソフトウェアを使えば、オンサイトでのバルブチューニングのカスタマイズやキャリブレーションも可能です。 展示会場ではユーザーフレンドリーで多機能なソフトウェアの操作性を体験していただけるよう、専門のスタッフが皆様のご来場をお待ちしております。 ▼ 注目の出展製品 ◎SLA5800シリーズ：高圧・大流量対応 サーマル式マスフローコントローラ/メータ ◎GF40シリーズ：ガス種・レンジ変更対応 サーマル式マスフローコントローラ/メータ ◎QMBシリーズ：コリオリ式マスフローコントローラ/メータ

チタンは、対象となる製品に非常に硬い窒化チタン(TiN)コーティングを形成するために、こうした用途で頻繁に使用されます。チタンコーティングは、その金色の外観から、装飾目的で宝石、家庭用器具、自動車のトリムによく使用されています。同様のコーティングは、医療機器や器具の表面に無害なものとして使用されることもあります。この種のコーティングは現在、生体内バイオセンサーを含む高度なバイオメディカルデバイスの用途にも応用されています。 窒化チタンのコーティングには、一般的にCVDプロセスが使用されています。このプロセスでは、複数の化学物質(TiC14、N2、H2)を炉に供給し、高温で反応させて窒化チタンを生成し、コーティングとして表面に堆積させます。コーティングの完全性、適切な厚み、均一性にとって重要なのは、これらの材料を炉に正確に送り込むことです。 ▽続きはこちらをご覧ください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/blog/titanium-nitride-coating-using-cvd-process

ピラニー真空計「VersaTorrシリーズ」は、ダイヤフラム式と MEMSピラニ―式のデュアルセンサー方式のBVT100シリーズと、 キャパシタンスマノメーターを融合してよりワイドレンジの測定を 可能にしたトリプルセンサーのBVT200シリーズで製品展開しています。 新開発のMEMSピラニ―センサーは、一般的なMEMSピラニ―センサーと 比べ1桁低い7.5 x 10E-7 Torrまでのワイドレンジ測定を可能としています。 ピラニーセンサーが気体の熱損失の影響を受ける1.5～1000Torrの高圧領域はダイヤフラム式でカバーすることにより、7.5 x 10E-7 ～1000Torrまでのワイドレンジ測定を可能にしています。 詳細な情報につきましては下記ウェブサイト（英語版）をご覧ください。 https://www.brooksinstrument.com/en/products/pressure-vacuum/pirani-transducers

『PTI(圧力変動耐性)を搭載したMFC』 超高速応答と高い清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代のPTI（圧力変動耐性）を搭載したメタルシール仕様のマスフローコントローラです。入口圧力の変動によるプロセスガス流量への影響を大幅に削減します。GF125に標準で搭載されているMultiFlo テクノロジーは、流量計本体をガスラインから切り離したり、精度を低下させることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせを可能にします。 この特長は、 歩留まりと生産性の最大化に貢献する業界最高水準のPTI性能とともに、プロセスラインに設置する圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェアを見直すことで、ガスパネルのサイズとコストの削減に貢献します。 用途 ■半導体エッチングツール ■MOCVD ■高清浄オールメタル流路が必要なガス流量制御アプリケーション

ブルックスエクスパートサポートツール『BEST(Brooks Enhanced Support Tool)』は、SLA58XXおよびSLAMfXXシリーズ専用の、高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラを制御するWindowsベースのアプリケーションソフトウェアです。このツールを使用することにより、セットアップ、設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション（別途ライセンスキーが必要）を含む機能を利用することができます。 デバイスの上部にある診断ポートとお使いのコンピュータを、専用ケーブルで接続してアクセスします。仕様、ライセンスの要件、操作方法については、お問い合わせください。 対応する製品は下記ページをご確認ください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/accessories-software/product-software/brooks-expert-support-tool ■現在公開中のバージョン V5.14.1.0 V5.12.0.0 V5.10.0.0

0250シリーズは電源供給とアナログ制御の機能に加えて、 RS232シリアルポートを搭載したセカンダリエレクトロニクスです。 この革新的で信頼性の高いマイクロコンピュータベースの コントローラは、2つのモデルをご用意しています。 【モデル0251】 1台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスに電源を供給します。 【モデル0254】 最大4台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスのための電力を供給します。 このRoHS指令に準拠したデバイスは、非常にユーザーフレンドリーな 操作性を持っており、多様なアプリケーションに簡単にインストール できるよう、取付方法のオプションが提供されています。

モデル GF40 『デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応します』 1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの柔軟性を新たな次元に高めます。 用途 ■ 太陽電池CVD（化学蒸着）システム ■ ライフサイエンスバイオリアクタ ■ 真空プロセス ■ ナノテクノロジー/MEMS製造 ■ プラズマ、ガラス、ウェブ被膜システム ■ マニホールド/ガス供給システムの選択肢

・商品説明を聞きたいが、メールや電話では情報が不足する ・会議の時間が取りにくい 商品説明をテレビ会議形式で行うことにより、お客様と資料を共有しながら対面とほぼ変わらない打合せを行うことがで弊社製品をより深くご理解いただけると思います。 是非とも、お気軽にオンライン商品説明サービスをご利用ください。 ＜オンライン商品説明の流れ＞ ▼ STEP1｜お申し込み ▼ STEP2｜お申込み受付 弊社担当よりオンライン商品説明の日時とテレビ会議のリンクを メールにてお送りします。 ▼ STEP3｜オンライン商品説明 当日はメールに記載のリンクにアクセスし、テレビ会議を開始します。 テレビ会議は Microsoft Teamsを利用します。 ソフトのインストールは不要ですが、その他のサービスもご要望がありましたら遠慮なくご相談下さい。

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空・圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■ 再現性の高い、高精度なガス供給 ■ 優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■ 長期にわたる安定したプロセス制御 ■ 高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、 プロセスの歩留まりを最大化

『超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現』 蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機能を備えています。 フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。実証済みのサーマル式マスフロー測定技術を基にしており、非過熱状態でも蒸気を生成し、純水による影響を排除するため、高い信頼性と清浄度の高い製造が行えます。独立したサービスポートと直観的なGUIにより、ユーザーフレンドリーなデータロギングと診断機能を提供します。 用途 ■ シリコン半導体の金属エッチング後プロセス ■ シリコン半導体メタルストリッププロセス ■ 低大気圧環境における超高清浄度加湿 詳しくはこちらをご覧ください https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/vaporization/vapor-delivery-modules/vdm300

■ マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』 1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの柔軟性を新たな次元に高めます。 ■ リードアウトユニット『0254』*RoHS指令準拠製品* 0250シリーズは電源供給とアナログ制御の機能に加えて、RS232シリアルポートを搭載したセカンダリエレクトロニクスです。このRoHS指令に準拠したデバイスは、非常にユーザーフレンドリーな操作性を持っており、多様なアプリケーション環境で簡単にインストールできるよう、取付方法のオプションをご用意しております。最大4台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスのための電力を供給します。

デジタルマスフローコントローラとイーサネットベースのネットワーク プロトコルは、どのようにお客様の生産工程を向上させることができる のでしょうか？ ＜計測器から得られる豊富なデータでプロセスの課題を解決する＞ ・デジタル通信の進化 ・デジタル通信プロトコルの種類 ・”デジタル化”によるメリット ・デジタルプロトコルが機器の付加価値を高める仕組み ・デジタルアプリケーション：ガス使用量モニタリングにおける流量積算 ・デジタルアプリケーション：バイオリアクターの流量積算測定 ・デジタル通信プロトコルを選択する際の注意点 ・デジタル機器のポートフォリオを拡張