GP200シリーズは、半導体用途専用に設計された、初めての完全圧力非感応型PMFCです。GP200の独自の差圧技術と最先端のセンサー・バルブ構成により、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの限界を取り除き、業界で最も広範囲かつ正確なプロセスガスコントロールを可能にします。 Brooksは世界で初めてガス種と流量範囲の再設定が可能なMFCを開発し、リリース以降もガスモデルを刷新し続けており、同じ機能がGP200にも組み込まれています。多くのガス種と幅広い流量範囲への再設定を容易に行うことができ、幅広いプロセスに柔軟に対応します。 GP200の超高速で再現性の高いバルブコントロールと圧力変動耐性により、極端に供給圧力が変動した場合でも、チャンバーへの精密な流量制御を維持し、よりタイトなプロセス制御を可能にします。GP200プラットフォームは幅広いプロセス条件をサポートし、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの多くを交換または、アップグレードすることが可能です。

サーマルマスフローをご使用いただくに当たり、その測定原理をご理解いただくことは非常に重要です。高精度かつ安定したプロセス条件の設定はもちろんの事、トラブルの解決や早期発見に非常に有益です。 センサーはチューブ中央に配置されたヒータHとその両側に等距離に配置された温度センサーT1とT2で構成されています。ヒータには適正にコントロールされた電力が常時供給されて発熱しています。センサーチューブ内に流れがないときにはヒータからの熱が温度センサーT1とT2に平等に伝わるため両者は同じ温度となります。しかしセンサーチューブ内に図の矢印方向（順方向）の流れがある場合は、流体が熱を運ぶためT1の部分では熱が奪われて温度が低下し、T2の部分では熱をもらって温度上昇します。 ここで結果として生じるT1とT2の温度差はセンサーチューブ内の流体の質量流量の関数となります。これを適正に処理して質量流量を表わす電気信号として出力します。（一部を抜粋してご紹介しております。） https://www.youtube.com/watch?v=XKpX3rrt1qc [ITWジャパン株式会社ブルックスインスツルメント]

SLA5800シリーズ サーマル式マスフローコントローラ/メータは、優れた精度・安定性・信頼性により、広く標準機器として採用されています。 本シリーズは広範囲な流量測定レンジを備え、多様な温度・圧力条件に対応しているため、化学・石油化学分野の研究をはじめ、分析機器、燃料電池、ライフサイエンスなど、幅広い用途に適しています。 掲載内容 ■特長・利点 ■標準仕様 ■製品寸法 ■モデルコード ■承認・認証およびサービス ■サービスとサポート 他

新しいQuantim QMC コリオリ式流量計（第3世代）は、微少流量の気体や液体の測定と制御のアプリケーションに最適です Quantim(R) QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、微少流量の気体や液体に対して極めて正確で安定した、再現性のある測定と制御を実現します。この第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、プロセスの品質、生産の歩留まり、スループットを高めることで、ラボからパイロットプラント、生産までのスケールアップ期間の短縮に貢献します。 新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローのシリーズは、ブルックスインスツルメントのQuantim 旧モデルと取付寸法、機能面で互換性があります。 用途 ■ 触媒研究 ■ 化学パイロットプラントにおけるマスバランス計算 ■ 気化機へのプリカーサ供給 ■ 精密コーティング ■ 高精度充填ステーション ■ 定量ポンプのフィードバック/制御ループ ■ 真空プロセス ■ 半導体ウェーハプロセス

Quantim QMC コリオリ式流量計（第3世代）で採用されている動作原理を動画で解説しております。（英語） https://www.youtube.com/watch?v=_BXWlSn3Q_I 動画チャプター 00:00　Brooks Instrumentについて 00:16　コリオリ質量流量計の動作原理 00:27　運動量保存の法則 00:40　角運動量保存の法則 00:52　コリオリ質量流量計の基本構造 01:07　電源の投入方法 01:23　高い安定性を誇るセンサー構造 01:40　自然周波数で振動するセンサーチューブ 02:14　センサーチューブの位相差検出 02:59　電子回路による信号処理 03:08　プロセス流量の測定方法 03:47　回路基板の役割 03:58　高度なアラームと診断機能とは 04:22　校正について ＜コリオリ式流量計がもたらす主な利点＞ ■プロセスの品質、歩留まり、生産性を向上 ■研究室からパイロットプラント、さらに製造ラインへのスケールアップ時間を短縮 ■総所有コスト（TCO）の削減

モデル SLA5850/SLA5851/SLA5853/SLA5860/SLA5861/SLA5863 『1台あれば、14種類の圧力や流量レートを1つのプロセスで使用できる。』 そんなマスフローコントローラプラットフォームを想像してみてください。しかも、優れた再現性、精密度、繰り返し出力を備えています。これがSLA5800シリーズマスフローコントローラ/メータの進化したシンプル性能です。 SLA5800シリーズは、マスフロー測定と制御テクノロジーで業界をリードするブルックスインスツルメントならではの高い精度、ゼロ点安定性、繰り返し性を備えています。設定可能な高度なマルチガス/マルチレンジ機能を搭載し、競合製品と比較して優れたゼロドリフト仕様を提供すると同時に、出荷時キャリブレーションと精度を長期的に維持することが実証されています。

Sho-Rateシリーズは、標準的な流量監視用途に適した設計で、コストパフォーマンスと操作性に優れた面積式流量計です。「Model1358」は、気体および液体の測定に対応しており、各種プロセスラインおよび設置場所において安定した動作を提供します。 本製品は、流量を目視で視認可能なインジケーター構造を採用しており、オプションで流量調整機能を備えた一体型ニードルバルブを入口側または出口側に組み込む構成を選択いただけます。

Variable Area Flowmeters 世界基準で設計された信頼の品質 プラスチックには適さない高圧や高温の液体や気体の流量を測定する場合、当社の堅牢な「ガラス管式面積式流量計（ロータメーター）」を使用すれば、より正確な流量を測定することが可能です。より幅広い流量レンジができ、様々な液体や気体に適しています！ 掲載内容 ■ガラス管面積式流量計/金属管面積式流量計ラインアップ ■カスタム設計ソリューション ■アクセサリー&交換部品 ■技術文書のサポートと各種規制要件への対応 ■サービスとサポート　他

『Model GT1600』は、安全なご使用のために選択した高品質な材料でできており、室内・屋外問わず使用可能なガラス管面積式流量計です。目盛窓を360度回転可能で、好みの方向から視認できます。また、GT1000xxシリーズ, GT1300シリーズ Full-View製品の置換えに対応しております。 【特長】 ■SUS316 ステンレス製フレーム ■透明ポリカーボネートカバー ■316/316L 二重認証ステンレス製継手 ■継手・接続方向は水平・垂直いずれも可能 ■簡単な内部メンテナンス　など ご希望の流量に合わせて当社指定のスケール/目盛の選択ができる流量計です！

プロセス流体の視認が必要な気体および液体のアプリケーションにおいて、長期的に安定したパフォーマンスを実現する堅牢な設計で、小流量から大流量の測定に適したガラス管面積式流量計です。1分31秒の動画でご説明いたします。 https://www.youtube.com/watch?v=BgZMdBY4kLM 収録内容 ■基本的な仕組みや用途 ■特長 ■重要な流れの状態を監視 ■目盛設計（読み取りやすいスケール設計により、正確な流量監視が可能。直感的に操作できるため、トレーニング不要で使用できます。）

GT1000、GT1300、Full-View(R) モデルの後継機種 『精度要件を満たすために作られたシンプル且つ堅牢な設計』 プロセス流体の視認が必要な気体および液体のアプリケーションにおいて、長期的に安定したパフォーマンスを実現する堅牢な設計で、小流量から大流量の測定に適したガラス管面積式流量計です。 精度範囲はフルスケール流量の1％〜10％からオプションで選択できます。パージ流量の管理、シールオイルユニット、ベアリングの潤滑油、冷却水の管理などのアプリケーションに最適です。 また、当社のGT1000、GT1300、およびFull-View(R)1100シリーズ（モデル1110、1114、1140、1144）を更新される際は、取り付け互換性のある後継品としてモデルコードから選択可能です。 用途 ■ 工業用プロセス ■ 医薬品製造 ■ 石油とガスのポンプと精製プロセス ■ 化学製造 ■ バーナー制御 ■ 水処理・給水システム

プラスチックには適さない圧力や温度の液体や気体の流量を測定する 場合、当社の堅牢な「ガラス管面積式流量計（ロータメーター）」を 使用すれば、より正確な流量を測定することが可能です。 より幅広い流量レンジができ、様々な液体や気体に適しています！ 【特長】 ■ガラス管面積式流量計 ・高い耐久性・エコノミー・操作性に優れた流量計測技術 ・より幅広い流量レンジが可能であり、様々な液体や気体に適している ■金属管面積式流量計 ・高圧・過酷な温度環境下での使用に耐える耐久性と精度 【ラインアップ】 ■ガラス管面積式流量計 ・Sho-Rate モデル1350, 1355, 1358 ・GT1600 シリーズ ■金属管面積式流量計 ・MT3750 シリーズ ・MT3809 シリーズ ▼詳しくはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/variable-area-flow-meters

化学・石油化学・製薬などの現場では、防爆環境に対応し、長期的に安定して稼働する計測・制御機器が求められています。 ITWジャパンが取り扱う『SLAMfシリーズ』は、国内防爆認証（JPEx）を取得したサーマル式マスフローコントローラ／メータです。 0.003～20800slpmの広範な流量レンジに対応し、高精度と長期ゼロ点安定性を両立。国内外のプラントをはじめ、製造ラインでも導入実績が豊富です。 モデル SLAMf50 / SLAMf51 / SLAMf53 / SLAMf60 / SLAMf61 / SLAMf63 / SLAMf64 用途 ■ 石油化学および化学ガスのパイロットプラント ■ ライフサイエンスバイオリアクタ ■ 食品加工におけるブランケティング

エネルギー革新における精密制御の実現 水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える 現場には、正確な流れを見守る技術があります。 ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 https://mono.ipros.com/product/detail/2001538519/

低放射率（Low-E）コーティングを施した建築用ガラスは、最も人気のある機能的な建築材料の一つとなっています。熱損失と内部結露を最小限に抑えることで、建築物のエネルギー効率と省エネルギー性を向上させる重要な役割を担っています。ガラスに施されたコーティング（薄膜）は、ガラスを通過する可視光エネルギーの流れを制御します。このコーティングは、赤外線、可視光線、紫外線など、電磁スペクトルの異なる部分における光の透過、反射、吸収の特性を変化させる。 建築用ガラスを建物の内部から見た場合、Low-eガラスはエネルギーを建物内に反射させ、通常のガラスよりもはるかに低い熱損失を実現します。建物の外側から見ると、Low-Eガラスは、太陽エネルギーの可視部分を透過し、赤外線部分を最小化することで、建物からの熱損失を低減しています。 続きはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/blog/glass-coating-manufacturers-stable-reliable-gas-flow-delivery-and-low-pressure-control

二次電池材料、バイオ、表面処理の製造工程や各種評価装置、EPC業界などで使用される流量・圧力測定機器は、用途に適した機能や精度を満たしていることはもちろん、安心して長期間お使いいただける耐久性も重要です。 ITWジャパンでは、気体用のマスフローメータ/コントローラやプレッシャーコントローラ、トランスデューサなど、長期安定性に優れた『流量・圧力計測機器』、微小流量の液体の高精度な制御と測定に適した『コリオリ流量計』、EPC業界で豊富な実績を持つ『金属管面積式流量計』、汎用性が高く耐久性と費用対効果に適した『ガラス管面積式流量計』を取り扱っております。 弊社の製品を長くお使いいただくために、校正や修理メンテナンスは国内サポートに加えて、海外拠点でも対応しております。 【装置の用途例】 太陽電池関連 / 半導体関連 / 医療機器関連 / 遠心分離機 / ろ過スキッド / 発酵槽 / 各種コーティング / フィル＆フィニッシュ / バイオリアクター（添加剤供給）他

モデル SLAMf50 / SLAMf51 / SLAMf53 / SLAMf60 / SLAMf61 / SLAMf63 / SLAMf64 『厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール』 屋内や屋外を問わず、粉塵の雰囲気がある設置環境や水を扱うような場所では、『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、実証済みの「SLA5800ファミリー」ならではの高い精度と長期安定性を実現します。 用途 ■ 石油化学および化学ガスのパイロットプラント ■ ライフサイエンスバイオリアクタ ■ 食品加工におけるブランケティング

IoTという言葉を聞いて、「なにが出来るのか？」「なにが必要か？」という疑問をお持ちの方も多いのではないでしょうか。 デジタル通信により、従来のアナログ制御では知り得なかった流量センサー、バルブ、基板、異常のモニターなど様々な情報を得ることが出来ます。例えば、バルブ開度をモニターすることにより、設備の閉塞、積算流量からリークを知ることが出来ます。これらの情報は、継続して長期間モニター・知見ベースの管理を行うことでダウンタイム低減と品質向上に直結します。 対応機種は、従来の0-5VDCや4-20mAなどのアナログ制御に加えてRS485でのデジタル通信を有しているモデルもあります。（旧モデル58xxS、MfxxSシリーズ、SLA58xxS、SLAMfxxSシリーズ）デジタル通信未対応の古い機種でも、最新モデルのマスフローに置き換えることにより、デジタル通信化が可能です。新旧モデルの面間寸法は同じで、配線の変更は不要です。また、マスフローからのデータ収集用のコントロールボックスのご提供も可能です。大規模な設備の変更をすることなく「見える化」されたスモールIoTが実現します。

ブルックスインスツルメントは、優れたメーターの再現性を提供し、複雑な産業プロセスを正確に測定・制御することを可能にします。FOUNDATION Fieldbus トランスミッターを使用して『MT3809（金属管面積式流量計）』をネットワークに接続する方法を動画で解説しております。（英語） https://www.youtube.com/watch?v=KOgdtYaxHjc 動画チャプター 00:00　FOUNDATION Fieldbus ネットワークへの接続方法 00:39　端子台の取り外し 00:57　配線の接続方法 02:20　コンジット（電線管）接続 02:45　ハウジングの取り付け方法 当社の金属管面積式流量計に関する詳細情報は、以下をご覧ください： https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/variable-area-flow-meters/metal-tube/mt3809-series

『最高の性能を最大限に引き出す』 半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ（P-MFC）です。 GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスでも高精度なプロセスガス供給を可能にする特許取得済みのアーキテクチャを採用しています。また、差圧センサーを内蔵し、下流側にバルブを配置するなど独自の設計を採用することで、業界で最も広い範囲の動作条件で高精度のプロセスガス供給を可能にしています。 幅広いプロセス条件に対応しているため、従来のP-MFCやサーマルMFCの代替品やアップグレード品として使用することができます。また、圧力調整器や変換器などの部品が不要になるため、ガス供給システムを簡易化し、コストを低減することができます。 【主な用途】 ■ 半導体製造 ■ エッチング ■ CVD ■ 高純度のオールメタル流路を必要とするガス流量制御アプリケーション

SLAシリーズにおける動作原理を動画で解説しております。（英語） https://www.youtube.com/watch?v=XKpX3rrt1qc 動画チャプター 00:00　Brooks Instrumentとは 00:10　熱式質量流量計への電源の接続方法 00:24　熱式質量流量計の基本構造 00:35　気体流の一部をラミナーフローエレメントで分岐 00:56　熱センサーによる温度差の測定 01:08　優れたセンサー安定性 01:37　プロセスガス流量の測定方法 02:17　熱式質量流量計の回路基板 02:34　高度なアラームおよび診断機能とは ＜コリオリ式流量計がもたらす主な利点＞ ■センサの長期安定性により、メンテナンスや定期的な再キャリブレーションの必要がなく、総所有コストを削減 ■ブルックスインスツルメント独自のサーマルセンサテクノロジーにより、S/N比を改善し、低セットポイントにおける流量精度を向上

さまざまな市場からのアプリケーションノートでは、Brooks Instrumentの測定および制御技術が、相手先商標製品メーカー、パイロットプラント、生産プラント、研究所、大学などの競争力をいかに生み出すかを紹介しています。 ■ アナライザー市場 ■ 航空宇宙および自動車 ■ 化学・石油化学 ■ フード＆ビバレッジ ■ ライフサイエンス：バイオテクノロジー、製薬、医療機器 ■ 石油・ガス ■ 半導体製造 ■ 薄膜、コーティング、および表面処理 ■ 水処理・廃水処理 詳しくはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/markets

モデル GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126 『優れた応答速度や繰り返し性で、高清浄度・超高清浄度のプロセスガス供給を実現』 半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo(TM) テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 用途 ■ 半導体エッチングツール ■ 薄膜化学蒸着（CVD）システム（CVD、MOCVD、PECVD、ALD） ■ 物理蒸着（PVD）システム ■ エピタキシャルプロセスシステム

【新製品情報】 コリオリ式マスフローコントローラ/メータ『QMCシリーズ』 GF120xHTシリーズ メタルシール仕様『高温用マスフローコントローラ』 ★【パネル資料】にて特長をご確認ください！ オンラインでの説明会も承ります。 ご興味ある方はお気軽にお問い合わせください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/about-us/contact

■ ワイドな流量範囲/圧力条件とデジタルI/Oに対応 ■ 証明書と認証 ■ アプリケーション こちらよりご覧ください。 https://www.ipros.jp/catalog/detail/752600 関連カタログからもご覧いただけます。

ホットメルトエクストルージョン（HME）は、熱と圧力を加えてポリマーを溶かし、連続プロセスで型に押し出す方法です。HMEはプラスチック産業で広く応用されており、最近では医薬品の剤形やドラッグデリバリーシステムに使用されています。HME プロセスは、医薬品の有効成分 (API) をポリマーおよびその他の賦形剤と高温高圧で混合するために使用されます。押し出された材料は、カプセルへの充填や、錠剤への圧縮のために、マイクロペレットに切断または粉砕することができます。 ☆アプリケーションノートを公開中☆ 『コリオリ式マスフローメータを用いた超臨界CO2の高精度計測・制御によるドラッグデリバリーシステムの強化』 続きはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/blog/highly-reliable-accurate-coriolis-flow-meter-for-carbon-dioxide-injection [ITWジャパン株式会社ブルックスインスツルメント]

日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像 できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術　ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、 コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 【PVDとCVDの技術】 ⚫ PVDとは ⚫ CVDとは ⚫ 熱フィラメントCVDとは ⚫ プラズマCVDとは ⚫ CVDプロセス ⚫ CVDアプリケーションの範囲 ⚫ バッテリー市場 ⚫ バッテリー市場で活用される薄膜技術 是非、ご一読ください https://mono.ipros.com/news/detail/129945/

CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、 プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介 日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には 想像できなかったような機能を備えています。 このような高性能を実現したのは、以下のような幅広い用途で 利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術　ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、 コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 薄膜技術の説明やCVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、 プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例を ご紹介いたします。是非、ご一読くださいませ。 ★CVDとPVDの説明をさらに掘り下げた基礎知識や、 ガラス業界向けのガラスコーティングに関する基礎知識資料も進呈！ https://mono.ipros.com/news/detail/128269/

******************************** 出展ブース：小間番号 8-38 東京ビッグサイト 東展示場 ******************************** 出展ブースでは、水素・燃料電池の研究開発や製造で実績のある各種流量計を展示しております。弊社のサーマル式マスフローは専用のソフトウェアを使って、機器の状態をリアルタイムにモニターすることができます。また、制御バルブのPIDパラメーターの調整やアラームの設定、ガス種やフルスケール流量レンジの設定変更など、オンサイトでのカスタマイズも可能です。 展示会場ではユーザーフレンドリーで多機能なソフトウェアの操作性を体験していただけるよう、専門のスタッフが皆様のご来場をお待ちしております。 ▼ 注目の出展製品 ◎GF40シリーズ：ガス種・レンジ変更対応 サーマル式マスフローコントローラ/メータ ◎QMBシリーズ：コリオリ式マスフローコントローラ/メータ ◎SLA5800シリーズ：高圧・大流量対応 サーマル式マスフローコントローラ/メータ

******************************** 出展ブース：小間番号 W1-57 東京ビッグサイト 西展示場 ******************************** 燃料電池の性能を評価する際に使用する燃料電池テストスタンドでは、ガスの流量制御は高精度であることに加えて再現性の高いことが重要です。ブルックスインスツルメントのマスフローは卓越した長期安定性を備えたセンサーを搭載し、広い流量範囲や圧力変動に対して柔軟に制御することが可能なデバイスです。また、専用のソフトウェアを使えば、オンサイトでのバルブチューニングのカスタマイズやキャリブレーションも可能です。 展示会場ではユーザーフレンドリーで多機能なソフトウェアの操作性を体験していただけるよう、専門のスタッフが皆様のご来場をお待ちしております。 ▼ 注目の出展製品 ◎SLA5800シリーズ：高圧・大流量対応 サーマル式マスフローコントローラ/メータ ◎GF40シリーズ：ガス種・レンジ変更対応 サーマル式マスフローコントローラ/メータ ◎QMBシリーズ：コリオリ式マスフローコントローラ/メータ