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CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介しております

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

耐久性に優れた製品を多数ラインアップ。修理メンテナンスなども対応可能。バイオ・EPC・薄膜業界へのアプローチを紹介した資料進呈

【装置の用途例】 ◎太陽電池関連　◎半導体関連　◎医療機器関連　◎遠心分離機 ◎ろ過スキッド　◎発酵槽　◎各種コーティング　◎フィル＆フィニッシュ ◎バイオリアクター（添加剤供給）　ほか ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！

【特徴】 ■フルスケール流量：最大50 lpm ■最大圧力： 30 MPa ■卓越したバルブテクノロジーでリークを低減し、ターンダウンを最大限に高めています ■リモートトランスデューサを搭載したSLA5840は、圧力制御と流量測定の利点を兼ね備えています ■取り付け時の損傷を防ぐ耐久性の高いメタル製トップカバー ■デバイスの設置環境下でもアクセスしやすい、診断/サービスポートを搭載 ■アナログ、デジタルインターフェースなど、豊富な通信オプション

デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！

【その他の特長】 ■ツールの通信系から独立した、アクセスしやすい診断サービスポートを搭載 　Brooks Expert Support Tool と MultiFlo Configurator の2種類の弊社専用ソフトウェアに対応 ■耐腐食性センサにより、最大級の稼働率とスループットを保証するセンサの長期安定性を提供 ■DeviceNet、EtherCAT、Profibus、RS-485/アナログインターフェースなど、 　豊富な通信オプション ■ユーザー様の所有するガス種と流量レンジが固定されたMFC/MFMの予備品や在庫の削減 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

すべてを可能にするMFC

【メリット】 ■半導体業界の標準に合わせた連続テストを実行した高性能部品 ■パージ時におけるドライダウン時間を短縮 ■新しいプロセスガスおよび/またはレンジを60秒以下で設定可能 ■ブランドを含むメタルシールMFCの不意の置き換えやアップグレードにも対応 ■便利なユーザー表示と独立した診断/サービスポート　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション

【メリット】 ■半導体業界の標準に合わせた連続テストを実行した高性能部品 ■パージ時におけるドライダウン時間を短縮 ■新しいプロセスガスおよび/またはレンジを60秒以下で設定可能 ■ブランドを含むメタルシールMFCの不意の置き換えやアップグレードにも対応 ■便利なユーザー表示と独立した診断/サービスポート　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。