メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100シリーズ』
応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション
『GF100シリーズ』は、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度 および超高清浄度のプロセスガス供給を実現したメタルシールマスフロー コントローラ/メータです。 高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性をご提供。 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と 効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：700 ms - 1秒以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、 測定の再現性を向上 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
基本情報
【メリット】 ■半導体業界の標準に合わせた連続テストを実行した高性能部品 ■パージ時におけるドライダウン時間を短縮 ■新しいプロセスガスおよび/またはレンジを60秒以下で設定可能 ■ブランドを含むメタルシールMFCの不意の置き換えやアップグレードにも対応 ■便利なユーザー表示と独立した診断/サービスポート など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体エッチングツール ■薄膜化学蒸着（CVD）システム（CVD、MOCVD、PECVD、ALD） ■物理蒸着（PVD）システム ■エピタキシャルプロセスシステム ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
カタログ（3）
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この製品に関するニュース（6）
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ブルックス エキスパートサポートツール（BEST）
ブルックスエクスパートサポートツール『BEST(Brooks Enhanced Support Tool)』は、SLA58XXおよびSLAMfXXシリーズ専用の、高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラを制御するWindowsベースのアプリケーションソフトウェアです。このツールを使用することにより、セットアップ、設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション（別途ライセンスキーが必要）を含む機能を利用することができます。 デバイスの上部にある診断ポートとお使いのコンピュータを、専用ケーブルで接続してアクセスします。仕様、ライセンスの要件、操作方法については、お問い合わせください。 対応する製品は下記ページをご確認ください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/accessories-software/product-software/brooks-expert-support-tool ■現在公開中のバージョン V5.14.1.0 V5.12.0.0 V5.10.0.0
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薄膜技術の基礎知識『ガラスコーティング』
日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像 できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術 ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、 コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 ガラス業界向けのガラスコーティングに関する基礎知識資料を公開中！ ⚫ ガラスコーティング ⚫ Low-E ガラスとは ⚫ Low-E コーティングの積層と材料 ⚫ アプリケーションの要件 ⚫ Low-E コーティング技術とは ⚫ ガラスコーティング市場 是非、ご一読くださいませ。 https://mono.ipros.com/news/detail/129167/
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薄膜技術の基礎知識『PVDとCVDの技術』
日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像 できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術 ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、 コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 【PVDとCVDの技術】 ⚫ PVDとは ⚫ CVDとは ⚫ 熱フィラメントCVDとは ⚫ プラズマCVDとは ⚫ CVDプロセス ⚫ CVDアプリケーションの範囲 ⚫ バッテリー市場 ⚫ バッテリー市場で活用される薄膜技術 是非、ご一読ください https://mono.ipros.com/news/detail/129945/
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【製品情報】メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100シリーズ』
モデル GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126 『優れた応答速度や繰り返し性で、高清浄度・超高清浄度のプロセスガス供給を実現』 半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo(TM) テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 用途 ■ 半導体エッチングツール ■ 薄膜化学蒸着（CVD）システム（CVD、MOCVD、PECVD、ALD） ■ 物理蒸着（PVD）システム ■ エピタキシャルプロセスシステム
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『Legacy』マスフロ― サポートのご提案
今、ご使用されているLegacyと呼ばれる古いマスフロ―の 修理や代替品の選定で、お困りではないですか？ この20年の間、市場では様々なメーカーのマスフロ―が販売され、それらの多くは今も現役で稼働しております。それらマスフロ―を取り扱っていたマスフローメーカーを、現在ブルックスインスツルメントが集約して、修理や代替品ご提案にて、全面的にサポートを実施していることをご存知ですか？ タイランジェネラル[Tylan General]、マイクロリス[Mykrolis]、インテグリス[Entegris]、ユニット[UNIT]、キネティックス[Kinetics]、セレリティー[Celerity]等、様々なメーカーが過去販売しておりましたマスフローのすべてのサポートを行っております。これは、今日の市場において、現役で活躍しているLegacyマスフロ―のほぼ8割にものぼります。 あるケースでは修理をそしてまたあるケースでは弊社のベストセラーマスフローであるGFシリーズへの置き換えをお客様のご要望にあわせてご提案しております。 Legacyマスフロ―の修理や代替品置き換えでお困りの際はご相談ください。
取り扱い会社
当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。
