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SLA5800シリーズ サーマル式マスフローコントローラ/メータは、優れた精度・安定性・信頼性により、広く標準機器として採用されています。 本シリーズは広範囲な流量測定レンジを備え、多様な温度・圧力条件に対応しているため、化学・石油化学分野の研究をはじめ、分析機器、燃料電池、ライフサイエンスなど、幅広い用途に適しています。 掲載内容 ■特長・利点 ■標準仕様 ■製品寸法 ■モデルコード ■承認・認証およびサービス ■サービスとサポート 他

SLAシリーズにおける動作原理を動画で解説しております。（英語） https://www.youtube.com/watch?v=XKpX3rrt1qc 動画チャプター 00:00　Brooks Instrumentとは 00:10　熱式質量流量計への電源の接続方法 00:24　熱式質量流量計の基本構造 00:35　気体流の一部をラミナーフローエレメントで分岐 00:56　熱センサーによる温度差の測定 01:08　優れたセンサー安定性 01:37　プロセスガス流量の測定方法 02:17　熱式質量流量計の回路基板 02:34　高度なアラームおよび診断機能とは ＜コリオリ式流量計がもたらす主な利点＞ ■センサの長期安定性により、メンテナンスや定期的な再キャリブレーションの必要がなく、総所有コストを削減 ■ブルックスインスツルメント独自のサーマルセンサテクノロジーにより、S/N比を改善し、低セットポイントにおける流量精度を向上

モデル GF40 『デバイス1台で、さまざまなガスと流量に対応します』 1台のデバイスで複数のガスに対応できるため、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に好適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの柔軟性を新たな次元に高めます。 用途 ■ 太陽電池CVD（化学蒸着）システム ■ ライフサイエンスバイオリアクタ ■ 真空プロセス ■ ナノテクノロジー/MEMS製造 ■ プラズマ、ガラス、ウェブ被膜システム ■ マニホールド/ガス供給システムの選択肢

Variable Area Flowmeters 世界基準で設計された信頼の品質 プラスチックには適さない高圧や高温の液体や気体の流量を測定する場合、当社の堅牢な「ガラス管式面積式流量計（ロータメーター）」を使用すれば、より正確な流量を測定することが可能です。より幅広い流量レンジができ、様々な液体や気体に適しています！ 掲載内容 ■ガラス管面積式流量計/金属管面積式流量計ラインアップ ■カスタム設計ソリューション ■アクセサリー&交換部品 ■技術文書のサポートと各種規制要件への対応 ■サービスとサポート　他

圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！ オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御（プロセス）に一貫性を持たせることができます。 SLA/SLAMfシリーズは、国際標準にトレーサブルな一次流量校正システムを使用しており、当社の優れた計測システムおよび手法に基づき、高精度、ゼロ点の長期安定性、優れた再現性を特徴としています。 用途 ■ 薄膜プロセス ■ 化学および石油化学の触媒研究およびパイロットプロセス ■ ラボおよび解析システム ■ 燃料電池テクノロジー ■ ライフサイエンスバイオリアクタ