気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞
薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています！
産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。 化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■再現性の高い、高精度なガス供給 ■優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■長期にわたる安定したプロセス制御 ■高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、プロセスの歩留まりを最大化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】 ■気体・液体用マスフローコントローラ ・SLA5800シリーズ IP40-汎用マスフロー ・GF40 シリーズ コンパクトマスフロー ・GF100 シリーズ 高純度マスフロー ・Quantim コリオリマスフロー ■真空・圧力計測と制御 ・XacTorr シリーズ キャパシタンスマノメータ ・VersaTorr シリーズ ピラニ真空トランスデューサ ・SolidSense II プレッシャートランスデューサ ・SLA シリーズ プレッシャーコントローラ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■太陽電池関連 ■医療機器関連 ■ダイヤモンドライクコーティング ■オプティカルコーティング ■ガラスコーティング ■半導体関連 ■金属コーティング ■建築用コーティング ■食品包装用コーティング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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この製品に関するニュース（2）
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気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞
産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空・圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■ 再現性の高い、高精度なガス供給 ■ 優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■ 長期にわたる安定したプロセス制御 ■ 高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、 プロセスの歩留まりを最大化
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日本工業出版「計測技術12月号」に執筆記事が掲載されました
日本工業出版「計測技術12月号」にて新製品であるMEMSピラニ―真空計VersaTorrシリーズの製品概要と先端半導体プロセスにおける応用例を紹介しています。
取り扱い会社
当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や 生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の 製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、 お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう 寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。
