マスフローコントローラ/メータ『SLAMfシリーズ』
厳しい環境にも対応する耐久性!優れた精度を実現する精密マスフローコントロール
粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、 『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/ メータなら、実証済みの「SLA5800ファミリ」のメータとコントローラなら ではの高い精度と長期安定性を実現します。 特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、 プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。 【特長】 ■NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 ■幅広い定格流量 - 0.003から2500 slpm ■幅広い温度と圧力条件に対応 ■優れた精度を実現 ■設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】 ■高耐久性のデバイス筐体により、厳しい条件でも高いプロセス精度と制御を実現 ■独自のサーマルセンサテクノロジーにより、低セットポイントにおけるS/N比を改善 ■センサの長期安定性により、メンテナンスや定期的な再キャリブレーションの必要がない ■デバイス1台で、最大6種類までキャリブレーションのプログラムが可能 ■ユーザーがアクセスしやすいサービスポートを搭載し、取り付け、 トラブルシューティング、診断作業を簡素化 ■グローバルスタンダードに基づいた高性能の計測システムやキャリブレーションにより、 高い精度を実現 ■数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みを合理化 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
型番・ブランド名
モデル SLAMf50/SLAMf51/SLAMf53/SLAMf60/SLAMf61/SLAMf63/SLAMf64
用途/実績例
【用途】 ■石油化学および化学ガスのパイロットプラント ■ライフサイエンスバイオリアクタ ■食品加工におけるブランケティング ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ(3)
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【製品情報】エラストマシールサーマル式 マスフローコントローラ/メータ『SLAMfシリーズ』
モデル SLAMf50 / SLAMf51 / SLAMf53 / SLAMf60 / SLAMf61 / SLAMf63 / SLAMf64 『厳しい環境にも対応する耐久性!優れた精度を実現する精密マスフローコントロール』 屋内や屋外を問わず、粉塵の雰囲気がある設置環境や水を扱うような場所では、『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、実証済みの「SLA5800ファミリー」ならではの高い精度と長期安定性を実現します。 用途 ■ 石油化学および化学ガスのパイロットプラント ■ ライフサイエンスバイオリアクタ ■ 食品加工におけるブランケティング
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窒化チタンコーティングのための正確で安定したガスと液体の供給【アプリケーション情報】
チタンは、対象となる製品に非常に硬い窒化チタン(TiN)コーティングを形成するために、こうした用途で頻繁に使用されます。チタンコーティングは、その金色の外観から、装飾目的で宝石、家庭用器具、自動車のトリムによく使用されています。同様のコーティングは、医療機器や器具の表面に無害なものとして使用されることもあります。この種のコーティングは現在、生体内バイオセンサーを含む高度なバイオメディカルデバイスの用途にも応用されています。 窒化チタンのコーティングには、一般的にCVDプロセスが使用されています。このプロセスでは、複数の化学物質(TiC14、N2、H2)を炉に供給し、高温で反応させて窒化チタンを生成し、コーティングとして表面に堆積させます。コーティングの完全性、適切な厚み、均一性にとって重要なのは、これらの材料を炉に正確に送り込むことです。 ▽続きはこちらをご覧ください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/blog/titanium-nitride-coating-using-cvd-process
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既存設備をスモールIoT化しませんか。なにが出来るのか?なにが必要か?
IoTという言葉を聞いて、「なにが出来るのか?」「なにが必要か?」という疑問をお持ちの方も多いのではないでしょうか。 デジタル通信により、従来のアナログ制御では知り得なかった流量センサー、バルブ、基板、異常のモニターなど様々な情報を得ることが出来ます。例えば、バルブ開度をモニターすることにより、設備の閉塞、積算流量からリークを知ることが出来ます。これらの情報は、継続して長期間モニター・知見ベースの管理を行うことでダウンタイム低減と品質向上に直結します。 対応機種は、従来の0-5VDCや4-20mAなどのアナログ制御に加えてRS485でのデジタル通信を有しているモデルもあります。(旧モデル58xxS、MfxxSシリーズ、SLA58xxS、SLAMfxxSシリーズ)デジタル通信未対応の古い機種でも、最新モデルのマスフローに置き換えることにより、デジタル通信化が可能です。新旧モデルの面間寸法は同じで、配線の変更は不要です。また、マスフローからのデータ収集用のコントロールボックスのご提供も可能です。大規模な設備の変更をすることなく「見える化」されたスモールIoTが実現します。
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【パネル資料】スケールアップとオートメーション化に貢献
H2 & FC EXPO 水素燃料電池展(SMART ENERGY WEEK 春)出展に 合わせてご紹介しましたパネル資料です。 ■ ワイドな流量範囲/圧力条件とデジタルI/Oに対応 ■ 証明書と認証 ■ アプリケーション こちらよりご覧ください。 https://www.ipros.jp/catalog/detail/752600 関連カタログからもご覧いただけます。
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『レガシー(Legacy)』と呼ばれる古いマスフロ― サポートのご提案
ブルックスインスツルメントは、右の「Brooks MFCの系譜図」中の、タイランジェネラル(Tylan General)、マイクロリス(Mykrolis)、インテグリス(Entegris)、ユニット(UNIT)、キネティックス(Kinetics)、セレリティー(Celerity)等、様々なメーカーが過去販売しておりましたマスフローのすべてのサポートを行っております。その数は市場のLegacyマスフロ―全体のおよそ8割にものぼります。 お客様のご要望に従い、あるケースでは修理を、そしてまたあるケースでは弊社のベストセラーマスフローである GF120やGF125 への置き換えを、ご提案させていただいております。既にこれらLegacyからのGFシリーズへの置き換え実績は2万台を超えております。 「Brooks MFCの系譜図」で登場しましたLegacyマスフロ―ほぼ全機種からの置き換えが可能です。 Legacyマスフロ―の修理や代替品置き換えでお困りの際はぜひ弊社営業部に一度ご相談ください。
取り扱い会社
当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。