メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF125シリーズ』
すべてを可能にするMFC
超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI（圧力変動耐性）メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 その結果、 収率と生産性を最大限に拡張する業界最高のPTI性能とともに、各ポイントの圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェア設置の必要性を減らすことにより、ガスパネルのサイズとコストを縮小します。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：300 ms - 700 ms以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ インチ Raの表面仕上げ ■SEMI F20準拠接ガス･接液部材質 ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサ など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
基本情報
【メリット】 ■半導体業界の標準に合わせた連続テストを実行した高性能部品 ■パージ時におけるドライダウン時間を短縮 ■新しいプロセスガスおよび/またはレンジを60秒以下で設定可能 ■ブランドを含むメタルシールMFCの不意の置き換えやアップグレードにも対応 ■便利なユーザー表示と独立した診断/サービスポート など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
価格帯
納期
型番・ブランド名
モデル GF125 / GF126
用途／実績例
【用途】 ■半導体エッチングツール ■MOCVD ■高清浄オールメタル流路が必要なガス流量制御アプリケーション ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
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この製品に関するニュース（10）
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薄膜技術の基礎知識『ガラスコーティング』
日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像 できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術 ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、 コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 ガラス業界向けのガラスコーティングに関する基礎知識資料を公開中！ ⚫ ガラスコーティング ⚫ Low-E ガラスとは ⚫ Low-E コーティングの積層と材料 ⚫ アプリケーションの要件 ⚫ Low-E コーティング技術とは ⚫ ガラスコーティング市場 電子ブックを是非、ご一読くださいませ。 https://mono.ipros.com/popup/download/fullbrowse/?catalogId=706954
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薄膜技術の基礎知識『PVDとCVDの技術』
小型化・高性能化が加速する現代社会では、携帯電話をはじめとする多くの製品に、数年前には想像できなかった高度な機能が搭載されています。その進化を支えているのが、さまざまな分野で利用されている薄膜技術です。 【薄膜技術の主な応用分野】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面（対象物）に薄い材料層を形成し、コーティングや加工を施すプロセス」を指します。今回ご紹介する資料では、薄膜形成の主要技術であるPVDとCVDを体系的に解説しています。 【掲載内容】 ⚫ PVDとは ⚫ CVDとは ⚫ 熱フィラメントCVDとは ⚫ プラズマCVDとは ⚫ CVDプロセス ⚫ CVDアプリケーションの範囲 ⚫ バッテリー市場 ⚫ バッテリー市場で活用される薄膜技術 今注目される薄膜技術の基礎から、バッテリー産業での先端活用事例まで網羅した内容です。ぜひご一読ください。 https://mono.ipros.com/news/detail/129945/
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薄膜技術の基礎知識『ガラスコーティング』
小型化・高性能化が急速に進む現代社会では、携帯電話をはじめとする身近な製品に、数年前には想像できなかった高度な機能が搭載されています。こうした進化を支えているのが、幅広い分野で活用されている薄膜技術です。 【薄膜技術の主な応用分野】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器向け抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に、極薄の材料層を形成・コーティング・加工するプロセス」を指します。現在公開中の資料では、特にガラス業界における薄膜技術の基礎知識を体系的に解説しています。 【資料内容】 ⚫ ガラスコーティング ⚫ Low-E ガラスとは ⚫ Low-E コーティングの積層と材料 ⚫ アプリケーションの要件 ⚫ Low-E コーティング技術とは ⚫ ガラスコーティング市場 ガラス加工・コーティング技術の理解を深めたい方に最適な内容です。ぜひご一読ください。 https://mono.ipros.com/news/detail/129167/
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持続可能な未来を支えるブルックスインスツルメントのソリューション
エネルギー革新における精密制御の実現 水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える 現場には、正確な流れを見守る技術があります。 ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 https://mono.ipros.com/product/detail/2001538519/
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薄膜技術の基礎知識『PVDとCVDの技術』
日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像 できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術 ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、 コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 【PVDとCVDの技術】 ⚫ PVDとは ⚫ CVDとは ⚫ 熱フィラメントCVDとは ⚫ プラズマCVDとは ⚫ CVDプロセス ⚫ CVDアプリケーションの範囲 ⚫ バッテリー市場 ⚫ バッテリー市場で活用される薄膜技術 是非、ご一読ください https://mono.ipros.com/news/detail/129945/
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