マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』
デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！
『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。 【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント ±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】 ■ツールの通信系から独立した、アクセスしやすい診断サービスポートを搭載 Brooks Expert Support Tool と MultiFlo Configurator の2種類の弊社専用ソフトウェアに対応 ■耐腐食性センサにより、最大級の稼働率とスループットを保証するセンサの長期安定性を提供 ■DeviceNet、EtherCAT、Profibus、RS-485/アナログインターフェースなど、 豊富な通信オプション ■ユーザー様の所有するガス種と流量レンジが固定されたMFC/MFMの予備品や在庫の削減 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■太陽電池CVD（化学蒸着）システム ■ライフサイエンスバイオリアクタ ■真空プロセス ■ナノテクノロジー/MEMS製造 ■プラズマ、ガラス、ウェブ被膜システム ■マニホールド/ガス供給システムの選択肢 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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この製品に関するニュース（13）
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薄膜技術の基礎知識『ガラスコーティング』
日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像 できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術 ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、 コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 ガラス業界向けのガラスコーティングに関する基礎知識資料を公開中！ ⚫ ガラスコーティング ⚫ Low-E ガラスとは ⚫ Low-E コーティングの積層と材料 ⚫ アプリケーションの要件 ⚫ Low-E コーティング技術とは ⚫ ガラスコーティング市場 電子ブックを是非、ご一読くださいませ。 https://mono.ipros.com/popup/download/fullbrowse/?catalogId=706954
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薄膜技術の基礎知識『PVDとCVDの技術』
小型化・高性能化が加速する現代社会では、携帯電話をはじめとする多くの製品に、数年前には想像できなかった高度な機能が搭載されています。その進化を支えているのが、さまざまな分野で利用されている薄膜技術です。 【薄膜技術の主な応用分野】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面（対象物）に薄い材料層を形成し、コーティングや加工を施すプロセス」を指します。今回ご紹介する資料では、薄膜形成の主要技術であるPVDとCVDを体系的に解説しています。 【掲載内容】 ⚫ PVDとは ⚫ CVDとは ⚫ 熱フィラメントCVDとは ⚫ プラズマCVDとは ⚫ CVDプロセス ⚫ CVDアプリケーションの範囲 ⚫ バッテリー市場 ⚫ バッテリー市場で活用される薄膜技術 今注目される薄膜技術の基礎から、バッテリー産業での先端活用事例まで網羅した内容です。ぜひご一読ください。 https://mono.ipros.com/news/detail/129945/
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薄膜技術の基礎知識『ガラスコーティング』
小型化・高性能化が急速に進む現代社会では、携帯電話をはじめとする身近な製品に、数年前には想像できなかった高度な機能が搭載されています。こうした進化を支えているのが、幅広い分野で活用されている薄膜技術です。 【薄膜技術の主な応用分野】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器向け抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に、極薄の材料層を形成・コーティング・加工するプロセス」を指します。現在公開中の資料では、特にガラス業界における薄膜技術の基礎知識を体系的に解説しています。 【資料内容】 ⚫ ガラスコーティング ⚫ Low-E ガラスとは ⚫ Low-E コーティングの積層と材料 ⚫ アプリケーションの要件 ⚫ Low-E コーティング技術とは ⚫ ガラスコーティング市場 ガラス加工・コーティング技術の理解を深めたい方に最適な内容です。ぜひご一読ください。 https://mono.ipros.com/news/detail/129167/
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持続可能な未来を支えるブルックスインスツルメントのソリューション
エネルギー革新における精密制御の実現 水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える 現場には、正確な流れを見守る技術があります。 ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 https://mono.ipros.com/product/detail/2001538519/
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薄膜技術の基礎知識『PVDとCVDの技術』
日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像 できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術 ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、 コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 【PVDとCVDの技術】 ⚫ PVDとは ⚫ CVDとは ⚫ 熱フィラメントCVDとは ⚫ プラズマCVDとは ⚫ CVDプロセス ⚫ CVDアプリケーションの範囲 ⚫ バッテリー市場 ⚫ バッテリー市場で活用される薄膜技術 是非、ご一読ください https://mono.ipros.com/news/detail/129945/
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