マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』
デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！
『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。 【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント ±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】 ■ツールの通信系から独立した、アクセスしやすい診断サービスポートを搭載 Brooks Expert Support Tool と MultiFlo Configurator の2種類の弊社専用ソフトウェアに対応 ■耐腐食性センサにより、最大級の稼働率とスループットを保証するセンサの長期安定性を提供 ■DeviceNet、EtherCAT、Profibus、RS-485/アナログインターフェースなど、 豊富な通信オプション ■ユーザー様の所有するガス種と流量レンジが固定されたMFC/MFMの予備品や在庫の削減 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■太陽電池CVD（化学蒸着）システム ■ライフサイエンスバイオリアクタ ■真空プロセス ■ナノテクノロジー/MEMS製造 ■プラズマ、ガラス、ウェブ被膜システム ■マニホールド/ガス供給システムの選択肢 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（2）
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この製品に関するニュース（12）
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MultiFlo(TM)コンフィギュレータで数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能『GF40シリーズ』Multifloマスフローコントローラ/メータ
GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフロー コントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールを MultiFlo(TM)コンフィギュレータ（専用のソフトウェア）を使用すること で数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。変更可能なガス種 とレンジはFloComデータベースを参照ください。 ▽FloComデータベース（xls形式ファイル） https://cdn.brooksinstrument.com/-/media/brooks/documentation/products/accessories-and-software/software/multiflo-configurator/flocom-database-db220418---gf40-gas-listing.xls 100種類以上の実ガスデータを搭載した高精度なGF40シリーズを、 ユーザー様のご用途に合わせてカスタマイズをしてご活用下さい。
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【製品情報】マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』
モデル GF40 『デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応します』 1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの柔軟性を新たな次元に高めます。 用途 ■ 太陽電池CVD（化学蒸着）システム ■ ライフサイエンスバイオリアクタ ■ 真空プロセス ■ ナノテクノロジー/MEMS製造 ■ プラズマ、ガラス、ウェブ被膜システム ■ マニホールド/ガス供給システムの選択肢
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薄膜技術の基礎知識『PVDとCVDの技術』
日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像 できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術 ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、 コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 【PVDとCVDの技術】 ⚫ PVDとは ⚫ CVDとは ⚫ 熱フィラメントCVDとは ⚫ プラズマCVDとは ⚫ CVDプロセス ⚫ CVDアプリケーションの範囲 ⚫ バッテリー市場 ⚫ バッテリー市場で活用される薄膜技術 是非、ご一読ください https://premium.ipros.jp/itwjyapan/catalog/detail/706955/
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薄膜技術の基礎知識『ガラスコーティング』
日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像 できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術 ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、 コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 ガラス業界向けのガラスコーティングに関する基礎知識資料を公開中！ ⚫ ガラスコーティング ⚫ Low-E ガラスとは ⚫ Low-E コーティングの積層と材料 ⚫ アプリケーションの要件 ⚫ Low-E コーティング技術とは ⚫ ガラスコーティング市場 是非、ご一読くださいませ。 https://premium.ipros.jp/itwjyapan/catalog/detail/706954/
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ブルックス エキスパートサポートツール（BEST）
ブルックスエクスパートサポートツール『BEST(Brooks Enhanced Support Tool)』は、SLA58XXおよびSLAMfXXシリーズ専用の、高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラを制御するWindowsベースのアプリケーションソフトウェアです。このツールを使用することにより、セットアップ、設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション（別途ライセンスキーが必要）を含む機能を利用することができます。 デバイスの上部にある診断ポートとお使いのコンピュータを、専用ケーブルで接続してアクセスします。仕様、ライセンスの要件、操作方法については、お問い合わせください。 対応する製品は下記ページをご確認ください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/accessories-software/product-software/brooks-expert-support-tool ■現在公開中のバージョン V5.10.0.0、V5.12.0.0、V5.14.0.0
取り扱い会社
当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や 生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の 製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、 お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう 寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。
