【動画】マスフローコントローラ（MFC）『SLAシリーズ』動作原理
ITWジャパン株式会社
SLAシリーズにおける動作原理を動画で解説しております。（英語） https://www.youtube.com/watch?v=XKpX3rrt1qc 動画チャプター 00:00 Brooks Instrumentとは 00:10 熱式質量流量計への電源の接続方法 00:24 熱式質量流量計の基本構造 00:35 気体流の一部をラミナーフローエレメントで分岐 00:56 熱センサーによる温度差の測定 01:08 優れたセンサー安定性 01:37 プロセスガス流量の測定方法 02:17 熱式質量流量計の回路基板 02:34 高度なアラームおよび診断機能とは ＜コリオリ式流量計がもたらす主な利点＞ ■センサの長期安定性により、メンテナンスや定期的な再キャリブレーションの必要がなく、総所有コストを削減 ■ブルックスインスツルメント独自のサーマルセンサテクノロジーにより、S/N比を改善し、低セットポイントにおける流量精度を向上
