サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』
高圧ガス保安協会（KHK）の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆（JPEx）の型式検定合格証も取得
サーマルマスフローコントローラ／メータ『SLA5800シリーズ』は、 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、 水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に対応した製品です。 「SLA5850 マスフローコントローラ ノーマルクローズバルブ」は、 高圧ガス保安協会（KHK）の認証を取得しており、 都道府県での完成検査が認定証の提出のみで済むため、 非常にスムーズな導入が可能になります。（フローメータでの対応も可能） 【特長】 ■DEKRAより、国内防爆（JPEx）の型式検定合格証を取得済 （対応品：マスフローコントローラ／メータ、プレッシャーコントローラ） ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
＜KHK認証取得品のメリット＞ 高圧ガス設備は都道府県知事(または市町村長)への許可申請・検査申請・届出等の行政手続きが必要です。 この行政手続きには必要書類の準備と設備試験などの煩雑な手続きが必要ですが、 KHKが発行した高圧ガス設備試験成績証明書を提出するだけで行政手続きが完了します。
価格帯
納期
型番・ブランド名
モデル SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863
用途／実績例
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カタログ（9）
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この製品に関するニュース（17）
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【製品カタログ】『GP200シリーズ』圧力ベース ガス マスフローコントローラ（改訂版）
GP200シリーズは、半導体用途専用に設計された、初めての完全圧力非感応型PMFCです。GP200の独自の差圧技術と最先端のセンサー・バルブ構成により、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの限界を取り除き、業界で最も広範囲かつ正確なプロセスガスコントロールを可能にします。 Brooksは世界で初めてガス種と流量範囲の再設定が可能なMFCを開発し、リリース以降もガスモデルを刷新し続けており、同じ機能がGP200にも組み込まれています。多くのガス種と幅広い流量範囲への再設定を容易に行うことができ、幅広いプロセスに柔軟に対応します。 GP200の超高速で再現性の高いバルブコントロールと圧力変動耐性により、極端に供給圧力が変動した場合でも、チャンバーへの精密な流量制御を維持し、よりタイトなプロセス制御を可能にします。GP200プラットフォームは幅広いプロセス条件をサポートし、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの多くを交換または、アップグレードすることが可能です。
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【製品情報】エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』
モデル SLA5850/SLA5851/SLA5853/SLA5860/SLA5861/SLA5863 『1台あれば、14種類の圧力や流量レートを1つのプロセスで使用できる。』 そんなマスフローコントローラプラットフォームを想像してみてください。しかも、優れた再現性、精密度、繰り返し出力を備えています。これがSLA5800シリーズマスフローコントローラ/メータの進化したシンプル性能です。 SLA5800シリーズは、マスフロー測定と制御テクノロジーで業界をリードするブルックスインスツルメントならではの高い精度、ゼロ点安定性、繰り返し性を備えています。設定可能な高度なマルチガス/マルチレンジ機能を搭載し、競合製品と比較して優れたゼロドリフト仕様を提供すると同時に、出荷時キャリブレーションと精度を長期的に維持することが実証されています。
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ガラスコーティングメーカー、安定した信頼性の高いガスフロー供給と低圧制御で生産性を向上【アプリケーション情報】
低放射率（Low-E）コーティングを施した建築用ガラスは、最も人気のある機能的な建築材料の一つとなっています。熱損失と内部結露を最小限に抑えることで、建築物のエネルギー効率と省エネルギー性を向上させる重要な役割を担っています。ガラスに施されたコーティング（薄膜）は、ガラスを通過する可視光エネルギーの流れを制御します。このコーティングは、赤外線、可視光線、紫外線など、電磁スペクトルの異なる部分における光の透過、反射、吸収の特性を変化させる。 建築用ガラスを建物の内部から見た場合、Low-eガラスはエネルギーを建物内に反射させ、通常のガラスよりもはるかに低い熱損失を実現します。建物の外側から見ると、Low-Eガラスは、太陽エネルギーの可視部分を透過し、赤外線部分を最小化することで、建物からの熱損失を低減しています。 続きはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/blog/glass-coating-manufacturers-stable-reliable-gas-flow-delivery-and-low-pressure-control
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窒化チタンコーティングのための正確で安定したガスと液体の供給【アプリケーション情報】
チタンは、対象となる製品に非常に硬い窒化チタン(TiN)コーティングを形成するために、こうした用途で頻繁に使用されます。チタンコーティングは、その金色の外観から、装飾目的で宝石、家庭用器具、自動車のトリムによく使用されています。同様のコーティングは、医療機器や器具の表面に無害なものとして使用されることもあります。この種のコーティングは現在、生体内バイオセンサーを含む高度なバイオメディカルデバイスの用途にも応用されています。 窒化チタンのコーティングには、一般的にCVDプロセスが使用されています。このプロセスでは、複数の化学物質(TiC14、N2、H2)を炉に供給し、高温で反応させて窒化チタンを生成し、コーティングとして表面に堆積させます。コーティングの完全性、適切な厚み、均一性にとって重要なのは、これらの材料を炉に正確に送り込むことです。 ▽続きはこちらをご覧ください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/blog/titanium-nitride-coating-using-cvd-process
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バイオ医薬品製造におけるMFC利用２
EtherNer/IPモデルでは、デスクトップの研究室レベル規模で組んだシステムを製造レベルへスケールアップする際、単体制御からレシピコントロールまでの仕様変更が、比較的容易に実施することが出来ます。 SLA5800シリーズは、3cc/毎分～最大2500L/毎分の流量までラインアップされており、レシピやインタフェースを使い、パラメータを最大容量に合わせるよう調整することで、スケールアップを行うことが可能です。評価システムでMFCを入れ替えたり増設する際も、LANケーブルと電源ケーブル準備だけで、その他ハードウェアを介さず可能です。フレキシブルなシステム変更のほか、省スペース化とメンテナンス性の向上へも大きく寄与します。 同時にIoT化も可能です。遠隔操作をPCベースで組み込むことも、低いハードルで実施可能です。SLA5800シリーズ バイオパッケージでは、FDA準拠のエラストマーを採用。証明書類・エビデンス対応も可能でありながら、従来品比でバルブ閉鎖時の遮蔽率をアップし、特に酸素の制御ではより精密な溶存酸素量(DO)の調整が可能になります。 ITWジャパン株式会社ブルックスインスツルメント
取り扱い会社
当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。
